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실리콘 기판 상부에 산화막을 형성하는 제1 단계;상기 산화막을 식각하여 메쉬 패턴부와, 상기 메쉬 패턴부 단부에 위치하는 지지부를 형성하는 제2 단계;상기 산화막 식각에 의해 외부로 드러난 상기 실리콘 기판을 수직 식각하여 상기 메쉬 패턴부 및 지지부 하부에 지지 포스트를 형성하는 제3 단계;상기 지지 포스트를 습식 식각하는 제4 단계;상기 제4 단계까지 제조된 구조물의 표면에 금속박막을 증착시키는 제5 단계;상기 메쉬 패턴부 하부에 위치하는 상기 지지 포스트를 제거하는 제6 단계; 및상기 메쉬 패턴부가 박막 스트레스에 의해 상기 지지부 방향으로 말려 튜브형을 형성하는 제7 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 금속 메쉬 구조물 제조 방법
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청구항 1에 있어서, 상기 메쉬 패턴부는 삼각형, 사각형, 오각형 또는 육각형의 메쉬구조인 것을 특징으로 하는 마이크로 금속 메쉬 구조물 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 금속박막은 금(Au), 백금(Pt), 은(Ag), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 크롬(Cr), 니켈(Ni) 또는 몰리브덴(Mo) 중 어느 하나, 격층(bilayer) 또는 이들의 합금으로 제조되는 것을 특징으로 하는 마이크로 금속 메쉬 구조물 제조 방법
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청구항 1에 있어서,상기 금속박막 내에 기능성 마이크로 비드가 포획되는 것을 특징으로 하는 마이크로 금속 메쉬 구조물 제조 방법
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청구항 1, 청구항 2, 청구항 4 및 청구항 7 중 어느 한 항에 따른 마이크로 금속 메쉬 구조물 제조 방법에 의해 제조되는 것을 특징으로 하는 마이크로 금속 메쉬 구조물
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