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압력에 기초하여 변형되는 제1 부분과 상기 제1 부분의 수평선상에서 상기 제1 부분을 지지하는 제2 부분을 포함하는 다이아프램(diaphragm),상기 제1 부분 위에 위치하고 상기 다이아프램에 적용되는 스트레인을 감지하는 스트레인 게이지(strain gauge),상기 제2 부분 위에 위치하며 상기 스트레인 게이지와 전기적으로 연결되어 있으며 상기 스트레인 게이지 외측의 수평 방향에 위치하는 제1 회로기판,상기 제1 회로기판 위에 위치하며 상기 제1 회로기판과 전기적으로 연결되어 있는 제2 회로기판을 포함하는 제1 하우징, 그리고상기 제2 회로기판의 전기적 신호를 외부로 전달하는 제1 전극로드를 포함하는 제2 하우징을 포함하는 압력센서
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제1항에서,상기 스트레인 게이지과 상기 제1 회로기판은 와이어본딩(wire bonding)을 통해 전기적으로 연결되어 있는 압력센서
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제1항에서,상기 제1 회로기판과 상기 제2 회로기판은 각각 제2 전극로드를 통하여 전기적으로 연결되어 있는 압력센서
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제3항에서,상기 제2 전극로드는 탄성부를 포함하는 압력센서
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제1항에서,상기 스트레인 게이지는 상기 제1 부분에 접촉하고, 상기 스트레인 게이지는 상기 제1 부분과 중첩하며, 상기 제1 회로기판은 상기 제2 부분과 중첩하는 압력센서
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제1항에서,상기 제1 전극로드와 상기 제2 회로기판은 스프링과 제3 전극로드를 통해 전기적으로 연결되어 있는 압력센서
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