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세라믹 기판 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015146121
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 세라믹 기판 및 이의 제조방법이 제공되고, 본 발명의 일 구현예에 따른 세라믹 기판은 알루미늄을 포함하고, 서로 마주보는 상부 표면(upper surface) 및 하부 표면(lower surface)을 갖는 질화물 층을 포함하고, 질화물 층의 내부에서 상부 표면에 가까워질수록 질소 농도가 낮아지고, 질화물 층 내부에서 상부 표면에 가까워질수록 산소원자, 수소원자, 또는 염소원자의 농도가 높아지는 것일 수 있다.
Int. CL C04B 35/64 (2006.01) C04B 35/581 (2006.01)
CPC B32B 18/00(2013.01) B32B 18/00(2013.01) B32B 18/00(2013.01)
출원번호/일자 1020140007574 (2014.01.22)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-1550882-0000 (2015.09.01)
공개번호/일자 10-2015-0087518 (2015.07.30) 문서열기
공고번호/일자 (20150907) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.01.22)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조현민 대한민국 경기도 용인시 기흥구
2 김민선 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 유미특허법인 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 서림빌딩 **층 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.01.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0064979-26
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.09.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.10.14 수리 (Accepted) 9-1-2014-0080946-59
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0044162-65
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.03.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0277870-23
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.03.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0277871-79
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2015.05.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0327581-97
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.06.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0582048-96
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2015.06.16 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2015-0582050-88
10 보정요구서
Request for Amendment
2015.06.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0106201-37
11 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2015.07.06 수리 (Accepted) 1-1-2015-0631332-97
12 등록결정서
Decision to Grant Registration
2015.07.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0488339-30
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
알루미늄을 포함하고, 서로 마주보는 상부 표면(upper surface) 및 하부 표면(lower surface)을 갖는 질화물 층을 포함하고,상기 질화물 층의 내부에서 상기 상부 표면에 가까워질수록 질소 농도가 낮아지고,상기 질화물 층 내부에서 상기 상부 표면에 가까워질수록 산소원자, 수소원자, 또는 염소원자의 농도가 높아지며,상기 상부 표면에서의 산소원자, 수소원자 또는 염소원자의 농도는 상기 상부 표면의 전체 원자 대비 10 내지 60 원자 %인 세라믹 기판
2 2
제1항에서,상기 상부 표면의 표면 조도(Rq)가 0
3 3
삭제
4 4
알루미늄을 포함하고, 서로 마주보는 상부 표면 및 하부 표면을 갖는 질화물 층을 포함하는 기판을 준비하는 단계,상기 질화물 층의 상부 표면에 산소(O2), 수소(H2), 또는 염소(Cl2) 기체를 접촉시키는 단계, 그리고,상기 산소(O2), 수소(H2), 또는 염소(Cl2) 기체와 접촉하고 있는 상기 질화물 층을 포함하는 기판을 가열하여, 상기 질화물 층 내부에서 상기 상부 표면에 가까워질수록 질소 농도가 낮아지고, 상기 질화물 층 내부에서 상기 상부 표면에 가까워질수록 산소원자, 수소원자, 또는 염소원자의 농도가 높아지도록 상기 상부 표면의 원자조성을 변화시키는 단계를 포함하고,상기 질화물 층의 상부 표면에 산소(O2), 수소(H2), 또는 염소(Cl2) 기체를 접촉시키는 단계의 산소(O2), 수소(H2), 또는 염소(Cl2) 기체의 농도는 5 부피 %인 세라믹 기판의 제조방법
5 5
제4항에서,상기 가열하는 단계의 온도는 900 ℃ 내지 1100 ℃인 세라믹 기판의 제조방법
6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국광기술원 산업융합원천기술개발사업 고효율 고신뢰성 LED 패키징 소재 기술 개발