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나노 요철 구조가 형성된 기판의 제조방법

  • 기술번호 : KST2015146187
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 나노 요철 구조가 형성된 기판의 제조방법 및 이에 의해 제조된 기판이 개시된다. 본 발명의 방법은, 기판 상에 광산란 매질층을 형성하고, 상기 광산란 매질층 상에 금속 성분을 포함하는 금속 유기잉크로 이루어지는 금속 유기잉크층을 형성하고, 열처리에 의해 상기 금속 유기잉크층을 소결하여 금속 나노 마스크를 형성하고, 상기 광산란 매질층을 식각하여 나노 요철 구조를 형성하고, 상기 금속 나노 마스크를 식각하여 나노 요철 구조가 형성된 기판을 제조한다.
Int. CL H01L 51/52 (2006.01) H01L 51/56 (2006.01)
CPC H01L 51/56(2013.01)
출원번호/일자 1020140060293 (2014.05.20)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-1551651-0000 (2015.09.01)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20150908) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.05.20)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이승현 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
2 김일구 대한민국 전라북도 전주시 완산구
3 이규홍 대한민국 전라북도 완주군
4 신진국 대한민국 서울특별시 강남구
5 이범주 대한민국 경기도 성남시 분당구
6 박영민 대한민국 전라북도 전주시 완산구
7 김현준 대한민국 전라북도 전주시 완산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정종옥 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)
2 조현동 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 (도곡동, 덕영빌딩)(노벨국제특허법률사무소)
3 진천웅 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층 노벨국제특허법률사무소 (도곡동, 덕영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.05.20 수리 (Accepted) 1-1-2014-0472105-64
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0204473-68
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-0379468-41
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.04.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0379475-61
5 등록결정서
Decision to grant
2015.08.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0573697-32
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판 상에 광산란 매질층을 형성하는 단계;상기 광산란 매질층 상에 금속 성분을 포함하는 금속 유기잉크로 이루어지는 금속 유기잉크층을 형성하는 단계;열처리에 의해 상기 금속 유기잉크층을 소결하여 금속 나노 마스크를 형성하는 단계;상기 광산란 매질층을 식각하여 나노 요철 구조를 형성하는 단계; 및상기 금속 나노 마스크를 식각하는 단계를 포함하는 나노 요철 구조가 형성된 기판의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 기판은,유리기판 또는 유연기판 중 어느 하나를 포함하는 나노 요철 구조가 형성된 기판의 제조방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 유연기판은,폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN), 폴리카보네이트(PC) 및 폴리이미드(PI) 중 어느 하나 이상을 포함하는 나노 요철 구조가 형성된 기판의 제조방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 광산란 매질층은,화학증착, 전자빔 증착, 열증착, 원자층 증착, 스퍼터를 포함하는 증착 방식, 또는 나노입자나 고분자 수지로 제조된 액상의 재료를 코팅 또는 프린팅하는 방식에 의해 형성되는 나노 요철 구조가 형성된 기판의 제조방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 광산란 매질층은,이산화규소(SiO2), 이산화티타늄(TiO2), 이산화지르코늄(ZrO2), 산화주석(SnOx), 삼산화이알루미늄(Al2O3), 삼산화이인듐(In2O3), 질화규소(SiNx)중 어느 하나의 물질로 이루어지는 나노 요철 구조가 형성된 기판의 제조방법
6 6
제1항에 있어서, 상기 금속 유기잉크층을 형성하는 단계는,상기 금속 유기잉크를 상기 광산란 매질층 상에 코팅하여 형성하는 나노 요철 구조가 형성된 기판의 제조방법
7 7
제6항에 있어서, 상기 코팅은,스핀코팅, 슬릿코팅, 잉크젯 프린팅, 스크린 프린팅, 그라비아 프린팅, 그라비아옵셋 프린팅, 리버스옵셋 프린팅, 플렉소 프린팅 중 어느 하나에 의해 수행하는 나노 요철 구조가 형성된 기판의 제조방법
8 8
제6항에 있어서, 상기 금속 유기잉크층은,0
9 9
제1항에 있어서, 상기 금속 유기잉크의 상기 금속성분은,은(Ag), 금(Au), 구리(Cu), 백금(Pt), 팔라듈(Pd), 알루미늄(Al) 및 몰리브덴(Mo) 중 어느 하나이거나, 또는 이들의 조합으로 이루어지는 나노 요철 구조가 형성된 기판의 제조방법
10 10
제1항에 있어서, 상기 열처리는,100 내지 300℃에서 수행되는 나노 요철 구조가 형성된 기판의 제조방법
11 11
제1항에 있어서, 상기 광산란 매질층의 식각은,건식식각 또는 습식식각인 나노 요철 구조가 형성된 기판의 제조방법
12 12
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