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타겟분자를 포함하는 테스트 용액을 저장하거나 흐르게 하기 위한 마이크로 체널;
상기 마이크로 채널 상단에 위치한 플렉서블 박막에 고정된 화학기능기와 연결되어 상기 타겟분자를 포획하기 위한 리셉터; 및
상기 마이크로 채널 하단에 위치하여 상기 타겟분자의 전하에 의한 전계영향을 감지하기 위한 나노 와이어 구조물
을 포함하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오 센서
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2
제1항에 있어서, 상기 플렉서블 박막은,
휘어짐이 가능한 제1 상층부 박막;
상기 제1상층부 박막에 형성되어 상기 화학기능기를 고정시키기 위한 제2 상층부 박막; 및
상기 제1 상층부 박막에 압력을 가하여 휘어짐을 유도하기 위한 가압장치
를 포함하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오 센서
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3
제2항에 있어서,
상기 제1 상층부 박막은 고분자 소재로 이루어진 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오 센서
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4
제2항에 있어서,
상기 제2 상층부 박막은 금속, 실리카 및 고분자 중 어느 하나인 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서
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5
제1항에 있어서,
상기 나노와이어 구조물은 실리콘 나노와이어 또는 탄소나노튜브인 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서
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6
절연층이 형성된 기판 상에 하기 타겟분자의 전하에 의한 전계효과를 감지하기 위한 나노와이어 구조물;
상기 나노와이어 구조물 하단에 디바이 길이에 대응하는 높이로 형성된 스페이서; 및
상기 나노와이어 구조물 표면에 고정되어 상기 타겟분자를 포획하기 위한 리셉터를 구비한 화학기능기
를 포함하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서
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7
절연층이 형성된 기판 상에 하기 타겟분자의 전하에 의한 전계효과를 감지하기 위한 나노와이어 구조물;
상기 나노와이어 구조물과 인접한 영역이 식각된 상기 절연층; 및
상기 나노와이어 구조물 표면에 고정되어 상기 타겟분자를 포획하기 위한 리셉터를 구비한 화학 기능기
를 포함하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서
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8
제6항 또는 제7항에 있어서,
상기 나노와이어 구조물은 실리콘 나노와이어 또는 탄소나노튜브를 포함하는 반도체 특성의 소재를 이용하여 와이어 형태를 갖는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서
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삭제
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10
삭제
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타겟분자가 포함된 테스트 용액이 있는 마이크로 채널상에 플렉서블 박막을 형성하는 단계;
상기 플렉서블 박막에 표면처리를 하여 상기 타겟분자를 포획할 리셉터와 연결된 화학기능기를 부착하는 단계; 및
상기 마이크로 채널의 하단에 상기 타겟분자의 전하에 의한 전계효과를 감지하기 위한 나노와이어 구조물을 형성하는 단계
를 포함하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서의 제조방법
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12
제11항에 있어서,
상기 나노와이어 구조물을 형성하는 단계는 반도체 와이어 형태의 구조물을 형성하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서의 제조방법
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13
제11항에 있어서, 상기 나노와이어를 구조물을 형성하는 단계는,
사진식각공정을 이용하여 기판으로부터 상부로 이격된 영역에 나노와이어를 형성하는 단계;
상기 기판과 상기 나노와이어 전면에 절연층을 형성하는 단계; 및
상기 나노와이어 트랜스퍼를 이용하여 상기 절연층 증착면을 바닥면으로 하는 단계
를 포함하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서의 제조방법
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14
제13항에 있어서,
상기 나노와이어와 인접한 영역의 상기 절연층을 식각하는 단계를 포함하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서의 제조방법
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15
제14항에 있어서, 상기 절연층을 식각하는 단계는,
상기 식각은 등방성 또는 비등방성 식각을 이용하는 나노 스케일 구조물을 이용한 바이오센서의 제조방법
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