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지지부(10)와; 상기 지지부(10)에 연결되어 부상된 지지판(48)과; 상기 지지판(48)에 각각 형성되고, 두 개의 구동용 엑츄에이터들(20a,20b)과, 그 구동용 엑츄에이터들(20a,20b)의 사이에 있는 센싱용 엑츄에이터(30)로 이루어지며, 압전 캐패시터를 각각 포함하고 있는 제 1 내지 4 엑츄에이터들(101,102,103,104)과; 상기 지지판(48)의 상부에 형성되며, 상기 제 1 내지 4 엑츄에이터들(101,102,103,104) 중 마주보는 적어도 한 쌍의 엑츄에이터들 구동으로 이동 변위를 갖는 미러(50)로 구성된 마이크로 압전 엑츄에이터를 이용한 미세 광 스위치
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제 1 항에 있어서, 상기 미러(50)가 형성된 지지판(48)은 사각형태이며, 상기 제 1 내지 4 엑츄에이터들(101,102,103,104)은, 상기 사각형태의 지지판(48)의 각각의 측면 중심영역에 각각 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 압전 엑츄에이터를 이용한 미세 광 스위치
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제 1 항에 있어서, 상기 미러(50)가 형성된 지지판(48)은 사각형태이며, 상기 제 1 내지 4 엑츄에이터들(101,102,103,104)은, 상기 사각형태의 지지판(48)의 각각의 꼭지점 영역에 각각 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 압전 엑츄에이터를 이용한 미세 광 스위치
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제 1 항에 있어서, 상기 압전 캐패시터는 하부전극, 압전막, 상부전극으로 구성된 것을 특징으로 하는 마이크로 압전 엑츄에이터를 이용한 미세 광 스위치
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지지부(10)와; 상기 지지부(10)에 연결되어 부상된 지지판(48)과; 상기 지지판(48)에 각각 형성되고, 두 개의 구동용 엑츄에이터들(20a,20b)과, 그 구동용 엑츄에이터들(20a,20b)의 사이에 있는 센싱용 엑츄에이터(30)로 이루어지며, 압전 캐패시터를 각각 포함하고 있는 제 1 내지 4 엑츄에이터들(101,102,103,104)과; 상기 지지판(48)의 상부에 형성되며, 상기 제 1 내지 4 엑츄에이터들(101,102,103,104) 중 마주보는 적어도 한 쌍의 엑츄에이터들 구동으로 이동 변위를 갖는 미러(50)로 구성된 단일 광스위치가 복수로 배열되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 압전 엑츄에이터를 이용한 미세 광 스위치
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