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LiNbO3 기판 하부에 하부전극을 형성하고, 상기 LiNbO3 기판 상부에 주기적인 포토레지스트 패턴을 형성하고, 상기 포토레지스트 패턴과 상기 포토레지스트 패턴에 의해 노출된 LiNbO3 기판 상부를 감싸며, 상기 하부전극의 전기전도도보다 작은 전기전도도를 갖는 상부전극을 형성하는 단계와; 상기 상부전극과 하부전극에 전기장을 인가하여, 상기 LiNbO3 기판에 분극 반전을 일으키는 단계로 구성된 비대칭적인 전극 전도도를 이용한 리튬니오베이트 기판의 분극 반전 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 상부전극과 하부전극은 액상전극인 것을 특징으로 하는 비대칭적인 전극 전도도를 이용한 리튬니오베이트 기판의 분극 반전 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 액상전극은 LiCl을 녹인 용액을 사용하여 형성한 전극이며, 상기 하부 액상 전극을 상부 액상 전극보다 전기전도도를 크게 하기 위하여 상기 하부 액상 전극의 LiCl 농도가 상기 상부 액상 전극의 LiCl 농도보다 높게 형성된 것을 특징으로 하는 비대칭적인 전극 전도도를 이용한 리튬니오베이트 기판의 분극 반전 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 상부전극은 액상전극이고, 상기 하부전극은 금속전극인 것을 특징으로 하는 비대칭적인 전극 전도도를 이용한 리튬니오베이트 기판의 분극 반전 방법
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제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 상부전극의 전기전도도는 10 ~ 200㎲/㎝이고, 상기 하부전극의 전기전도도는 1 ~ 10s/㎝인 것을 특징으로 하는 비대칭적인 전극 전도도를 이용한 리튬니오베이트 기판의 분극 반전 방법
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LiNbO3 기판 하부에 금속전극을 형성하고, 상기 LiNbO3 기판 상부에 상기 하부전극의 전기전도도보다 작은 전기전도도를 갖는 주기적인 금속 전극 패턴을 형성하는 단계와; 상기 금속전극과 주기적인 금속 전극 패턴에 전기장을 인가하여, 상기 LiNbO3 기판에 분극 반전을 일으키는 단계로 구성된 비대칭적인 전극 전도도를 이용한 리튬니오베이트 기판의 분극 반전 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 금속전극의 전기전도도는 10 ~ 200㎲/㎝이고, 상기 주기적인 금속 전극 패턴의 전기전도도는 10 ~ 104s/㎝인 것을 특징으로 하는 비대칭적인 전극 전도도를 이용한 리튬니오베이트 기판의 분극 반전 방법
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제 6 항에 있어서, 상기 금속전극의 전기전도도는 10 ~ 200㎲/㎝이고, 상기 주기적인 금속 전극 패턴의 전기전도도는 10 ~ 104s/㎝인 것을 특징으로 하는 비대칭적인 전극 전도도를 이용한 리튬니오베이트 기판의 분극 반전 방법
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