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오프셋 압력이 자동 조절되는 압력센서

  • 기술번호 : KST2015146528
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 오프셋 압력이 자동 조절되는 압력센서에 관한 것으로, 보다 자세하게는 압력 저역통과필터를 통해 오프셋 압력을 제거하는 압력센서에 관한 것이다. 본 발명의 오프셋 압력이 자동 조절되는 압력센서는 반도체 기판의 하부면에 소정 두께가 제거된 다이어프램을 포함하여 구성된 압력센서에 있어서, 소정 주파수 이하의 압력파형만 통과시키고 그 이상의 압력파형은 차단하는 압력 저역통과필터를 더 포함하여 이루어짐에 기술적 특징이 있다. 따라서, 본 발명의 오프셋 압력이 자동 조절되는 압력센서는 압력 저역통과필터에 의해 자동으로 오프셋 압력이 제거되기 때문에 부가적인 오프셋 압력 조정을 위한 밸브나 제어장치가 필요없는 장점이 있고, 미소차압을 측정하는 데 있어 소형으로 제작이 가능하며 오프셋 압력에 비해 매우 작은 맥파를 쉽게 검출할 수 있는 효과가 있다. 압력센서, 오프셋, 압전센서, 필터
Int. CL G01L 7/08 (2006.01)
CPC G01L 9/0042(2013.01) G01L 9/0042(2013.01) G01L 9/0042(2013.01) G01L 9/0042(2013.01)
출원번호/일자 1020040041946 (2004.06.08)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0587654-0000 (2006.06.01)
공개번호/일자 10-2005-0116902 (2005.12.13) 문서열기
공고번호/일자 (20060608) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.06.08)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이대성 대한민국 경기도 평택시
2 박효덕 대한민국 경기도 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서천석 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **, *층 (서초동, 서초다우빌딩)(특허법인세하)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.06.08 수리 (Accepted) 1-1-2004-0247775-66
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.09.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.10.12 수리 (Accepted) 9-1-2005-0063560-85
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.10.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0522998-40
6 의견서
Written Opinion		 2005.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2005-0746958-75
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2005.12.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2005-0746950-11
8 등록결정서
Decision to grant		 2006.03.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0141515-76
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
반도체 기판의 하부면에 소정 두께가 제거된 다이어프램을 포함하여 구성된 압력센서에 있어서, 소정 주파수 이하의 압력파형만 통과시키고 그 이상의 압력파형은 차단하는 압력 저역통과필터를 더 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 오프셋 압력이 자동 조절되는 압력센서
2 2
제 1항에 있어서, 상기 압력 저역통과필터는 구멍 또는 굴곡을 갖는 관로 형태인 것을 특징으로 하는 오프셋 압력이 자동 조절되는 압력센서
3 3
제 1항에 있어서,상기 압력센서는 수 mbar 이하의 낮은 압력범위를 측정하는 차압센서인 것을 특징으로 하는 오프셋 압력이 자동 조절되는 압력센서
4 4
제 1항에 있어서, 상기 압력센서는 반도체 기판 상부면에 절연막을 가지고, 상기 절연막 상부면에 소정 개수의 상부전극과 하부전극을 가지는 것을 특징으로 하는 오프셋 압력이 자동 조절되는 압력센서
5 4
제 1항에 있어서, 상기 압력센서는 반도체 기판 상부면에 절연막을 가지고, 상기 절연막 상부면에 소정 개수의 상부전극과 하부전극을 가지는 것을 특징으로 하는 오프셋 압력이 자동 조절되는 압력센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.