복수의 광도파로들이 일정한 간격으로 이격되어 내장된 실리카막이 기판의 상부에 형성된 광도파로 소자와;

일측과 타측이 연통되는 수취홈과, 그 수취홈 내측에 형성된 복수의 홈들을 구비하며, 상기 수취홈으로 상기 실리카막의 일측과 타측을 각각 안착시키는 입, 출력 광섬유 수동정렬소자와;

상기 입, 출력 광섬유 수동정렬소자의 복수의 홈들에 각각 안착되어, 상기 광도파로와 광학적으로 정렬된 복수의 광섬유들로 구성된 수동 정렬 소자를 이용한 광도파로 소자의 패키지 모듈

제 1 항에 있어서,

상기 입, 출력 광섬유 수동정렬소자는,

사출 성형된 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 수동 정렬 소자를 이용한 광도파로 소자의 패키지 모듈

일측과 타측이 연통되는 수취홈과, 그 수취홈 내측에 형성된 복수의 V홈들을 구비한 광섬유 수동정렬소자를 제조하는 제 1 단계와;

제 3 항에 있어서,

상기 광도파로 소자는,

기판상부에 복수의 광도파로들이 일정한 간격으로 이격되어 각각 실리카막에 내장된 복수개의 광도파로 소자를 형성시키고, 이를 다이싱(Dicing)하여 개별 소자로 형성하는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 소자를 이용한 광도파로 소자의 패키지 모듈의 제조방법

제 3 항에 있어서,

상기 제 1 단계의 광섬유 수동정렬소자를 제조하는 것은,

정밀한 사진식각공정을 통해 광섬유 수동정렬소자의 수취홈과 V홈의 반대 형상을 갖는 금형 코아를 형성하고,

제 5 항에 있어서,

상기 금형 코아를 형성하는 것은,

기판의 상부에 물질막을 일정 두께로 형성시키는 단계와;

상기 물질막에 광섬유 수동정렬소자의 수취홈과 V홈의 반대 형상을 갖는개구가 형성된 마스크를 이용하여 사진식각공정을 수행하여, 상기 광섬유 수동정렬소자의 수취홈과 V홈의 반대 형상을 갖는 개구를 형성하는 단계와;

상기 물질막의 개구에 전기도금공정을 통하여 금속층을 충진하는 단계와;

상기 금속층의 표면을 연마하고, 상기 물질막을 제거하는 단계와;

상기 기판으로부터 상기 금속층을 이탈시켜 금형코아를 형성하는 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 수동 정렬 소자를 이용한 광도파로 소자의 패키지 모듈의 제조방법

제 6 항에 있어서,

상기 물질막은 PMMA(Poly Methyl Methacrylate)층 또는 감광막인 것을 특징으로 하는 수동 정렬 소자를 이용한 광도파로 소자의 패키지 모듈의 제조방법

제 6 항에 있어서,

상기 마스크는 X-선 마스크이며,

상기 사진식각공정은 상기 X-선 마스크를 통하여 X-선을 상기 물질막으로 수직 노광하고, 현상액을 이용하여 노광된 물질막을 제거하는 현상공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 소자를 이용한 광도파로 소자의 패키지 모듈의 제조방법

제 3 항에 있어서,

상기 제 4 단계의 상기 광섬유를 상기 광도파로와 광학적으로 정렬시키는 것은,

상기 V홈에 형성된 각은 ' θ'이고, V홈 깊이가 'H', 광섬유의 반경이 'R', 수취홈의 깊이가 'D',기판과 실리카막의 접촉면에서 광도파로 중심까지의 거리가 'h'일 때, 하기 식(1)을 만족하여,

H + D = h + R/sin(θ/2) ----------------(1)

정렬시키는 것을 특징으로 하는 수동 정렬 소자를 이용한 광도파로 소자의 패키지 모듈의 제조방법