노광 마스크를 이용하여 노광 시편을 노광시키는 노광 장치에서,

상기 노광 시편이 위치되며 회전축을 중심으로 회전하는 시편 홀더;

상기 시편 홀더의 상측에 위치되며 상기 노광 마스크가 위치되는 마스크 홀더;

상기 시편 홀더를 회전시키는 회전부

를 포함하고,

상기 시편 홀더의 회전축과 상기 마스크 홀더의 중심축은 서로 일치되는 노광 장치

제1항에 있어서,

상기 시편 홀더는

제1 공간부를 가지는 제1 프레임; 상기 제1 프레임 상에 설치되어 있으며, 삽입 장착되는 상기 노광 시편이 노출되도록 중앙 부위가 절단되어 있고, 회전축과의 정렬을 위한 제1 정렬 마크가 형성되어 있는 제1 유리 기판; 상기 제1 프레임의 측면에 형성되어 있으며 삽입 장착되는 상기 노광 시편의 X 축 방향으로의 위치를 조절하는 제1 X축 세트 스크류; 및 상기 제1 프레임의 측면에 형성되어 있으며 삽입 장착되는 상기 노광 시편의 Y 축 방향으로의 위치를 조절하는 제1 Y축 세트 스크류

제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 노광 시편은

기판; 및 상기 기판 상에 형성되어 있으며 X-선에 반응하는 물질로 이루어진 감광막으로 이루어지며, 상기 감광막의 좌우측에 해당하는 상기 기판 상의 위치에 상기 시편 홀더의 제1 정렬 마크와의 정렬을 위한 시편 정렬 마크가 각각 형성되어 있고,

상기 노광 마스크는 X-선을 투과하는 멤브레인으로 이루어지며, 상기 멤브레인 상에 X-선을 흡수하고 제조하고자 하는 구조물 형상의 흡수체가 형성되어 있고, 상기 흡수체를 중심으로 좌우에 상기 마스크 홀더의 제2 정렬 마크와의 정렬을 위한 마스크 정렬 마크가 각각 형성되어 있는 노광 장치

제3항에 있어서,

상기 노광 시편의 시편 정렬 마크, 상기 시편 홀더의 제1 정렬 마크, 상기 노광 마스크의 마스크 정렬 마크 및 상기 마스크 홀더의 제2 정렬 마크는 동일선 상에 정렬되는 노광 장치

제1항에 있어서,

상기 시편 홀더는 상기 회전부에 의하여 +90°∼ -90°내에서 회전되는 노광 장치

노광 시편이 위치되며 회전축을 중심으로 회전하는 시편 홀더, 상기 시편 홀더의 상측에 위치되며 노광 마스크가 위치되는 마스크 홀더 및 상기 시편 홀더를 회전시키는 회전부를 포함하는 노광 장치를 이용하여 3차원 구조물을 제조하는 방법에서,

상기 시편 홀더에 노광 시편을 장착하고 상기 노광 시편과 상기 시편 홀더의 회전축을 정렬시키는 단계;

상기 마스크 홀더에 노광 마스크를 장착하고 상기 노광 마스크와 상기 노광 시편을 정렬시키는 단계;

상기 시편 홀더에 노광 시편을 장착하고 상기 마스크 홀더에 노광 마스크를 장착하는 단계;

상기 시편 홀더를 회전시키면서 상기 노광 마스크 상으로 X-선을 조사하여 상기 노광 시편을 노광시키는 단계; 및

상기 노광 시편을 현상하여 3차원 구조물을 제조하는 단계

를 포함하는 3차원 구조물 제조 방법

제6항에 있어서,

상기 시편 홀더에는 회전축과의 정렬을 위한 제1 정렬 마크가 형성되어 있고, 상기 노광 시편에서 상기 제1 정렬 마크와의 정렬을 위한 시편 정렬 마크가 형성되어 있으며, 상기 마스크 홀더에는 상기 제1 정렬 마크와의 정렬을 위한 제2 정렬 마크가 형성되고 있고 상기 노광 마스크에는 상기 제2 정렬 마크와의 정렬을 위한 마스크 정렬 마크가 형성되어 있으며,

상기 노광 시편과 상기 시편 홀더의 회전축을 정렬시키는 단계는, 상기 시편 홀더의 제1 정렬 마크를 상기 회전축에 정렬시킨 다음에 상기 제1 정렬 마크에 상기 노광 시편의 시편 정렬 마크를 정렬시켜 상기 시편 홀더의 회전축과 노광 시편과의 정렬이 이루어지도록 하고,

상기 노광 마스크와 상기 노광 시편을 정렬시키는 단계는, 상기 마스크 홀더의 제2 정렬 마크를 상기 시편 홀더의 제1 정렬 마크에 정렬시킨 다음에, 상기 마스크 홀더의 제2 정렬 마크에 노광 마스크의 마스크 정렬 마크를 정렬시켜, 상기 노광 마스크와 노광 시편과의 정렬이 이루어지도록 하는 3차원 구조물 제조 방법