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기판 상부에 일정간격으로 이격된 수평 요홈들과 수직 요홈들이 형성되어 있으며, 상기 수평 요홈들과 수직 요홈들이 교차되어, 사면이 요홈들로 둘러싸인 N x M 개의 공간 각각에 마이크로 액추에이터와 이 마이크로 액추에이터의 동작에 의해 직선운동 하는 마이크로 미러를 포함하는 MEMS 소자가 형성되어 있으며;실리카 기판과, 상기 실리카 기판으로부터 돌출되어 형성된 광도파로로 이루어진 PLC(Planar Lightwave Circuit) 소자의 광도파로가 상기 MEMS 소자의 수평 및 수직 요홈들에 삽입되어 상기 광도파로의 외곽선과 상기 MEMS 소자의 외곽선이 일치되어 있으며;상기 PLC 소자와 상기 MEMS 소자가 형성된 기판의 가장자리가 접착되어 있으며,상기 광도파로들은 수평 및 수직 요홈들이 교차되는 영역에서 만나며, 만나는 끝부분은 좁게 경사지게 되어 있는 다채널 광 스위치
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제 1 항에 있어서, 상기 접착은 점도가 15,000~25,000cps인 자외선 경화 에폭시에 의한 접착인 것을 특징으로 하는 다채널 광 스위치
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제 1 항에 있어서,상기 MEMS 소자에는 상기 마이크로 미러 부분을 감싸는 돌출구조가 더 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 다채널 광 스위치의 제조 방법
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상부에 일정간격으로 이격된 수평 요홈들과 수직 요홈들이 형성되어 있으며, 상기 수평 요홈들과 수직 요홈들이 교차되어, 사면이 요홈들로 둘러싸인 N x M 개의 공간 각각에 마이크로 액추에이터와 이 마이크로 액추에이터의 동작에 의해 직선운동 하는 미러를 포함하는 MEMS 소자가 형성되어 있는 기판을 형성하는 제 1 단계와; 실리카 기판과, 상기 실리카 기판으로부터 돌출되어 형성된 광도파로로 이루어진 PLC(Planar Lightwave Circuit) 소자를 형성하는 제 2 단계와; 상기 MEMS 소자가 형성되어 있는 기판의 요홈들에 상기 PLC 소자의 광도파로를 삽입시키면서, 상기 광도파로의 외곽선이 상기 MEMS 소자의 외곽선에 일치되도록 정렬하는 제 3 단계와; 상기 PLC 소자와 상기 MEMS 소자가 형성된 기판의 가장자리를 접착시키는 제 4 단계로 구성된 다채널 광 스위치의 제조방법
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제 5 항에 있어서 상기 제 1 단계의 MEMS 소자가 형성되어 있는 기판을 형성하는 것은, 제 1 실리콘층, 산화막과 제 2 실리콘층이 순차적으로 적층되어 있는 SOI기판을 준비하는 단계와; 상기 SOI기판의 제 2 실리콘층의 일부를 식각하여, 기판 상부에 일정간격으로 이격된 수평 요홈들과 수직 요홈들을 형성하며, 상기 수평 요홈들과 수직 요홈들이 교차되어, 사면이 요홈들로 형성된 N x M 개의 공간 각각에 상기 산화막으로부터 돌출된 마이크로 미러와 마이크로 액추에이터의 형상 및 지지부를 형성하는 단계와; 상기 마이크로 미러와 마이크로 액추에이터의 하부에 있는 산화막을 제거하여, 상기 마이크로 미러와 마이크로 액추에이터를 부상시키는 단계와; 상기 지지부의 상부에 금속으로 간격층을 형성하는 단계를 수행하여 형성하는 것을 특징으로 하는 다채널 광 스위치의 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 제 2 단계의 PLC 소자의 형성은, 실리카 기판 상부에 하부 클래드층을 형성하는 단계와; 상기 하부 클래드층 상부에 코어층을 형성하는 단계와; 상기 코어층의 일부를 식각하여, 하부 클래드층으로부터 돌출된 코어를 형성하는 단계와; 상기 코어를 감싸며 상기 하부 클래드층 상부에 상부 클래드층을 형성하는 단계와; 상기 상부 클래드층과 하부 클래드층의 일부를 식각하여 상기 코어를 내장한 하부 클래드층과 상부 클래드층으로 이루어진 광 도파로를 상기 실리카 기판으로부터 돌출되게 형성하는 단계를 포함하여 형성하는 것을 특징으로 하는 다채널 광 스위치의 제조 방법
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제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 실리카 기판은, 양면 연마된 투명한 기판인 것을 특징으로 하는 다채널 광 스위치의 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 제 4 단계의 상기 PLC 소자와 상기 MEMS 소자가 형성된 기판의 가장자리를 접착시키는 것은, 점도가 15,000~25,000cps인 자외선 경화 에폭시를 사용하여 접착시키는 것을 특징으로 하는 다채널 광 스위치의 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 제 4 단계 후, 프레넬(Fresnel) 반사에 의한 광 반사 손실을 최소화하기 위해, 상기 자외선 경화 에폭시로 접착된 PLC 소자와 상기 MEMS 소자가 형성된 기판의 가장자리 단면을 경사 연마하는 제 5 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 다채널 광 스위치의 제조 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 제 4 단계 후, 프레넬(Fresnel) 반사에 의한 광 반사 손실을 최소화하기 위해, 상기 자외선 경화 에폭시로 접착된 PLC 소자와 상기 MEMS 소자가 형성된 기판의 가장자리 단면을 경사 연마하는 제 5 단계가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 다채널 광 스위치의 제조 방법
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