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광 도파로의 제작 방법

  • 기술번호 : KST2015146648
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 광 도파로의 제작 방법에 관한 것으로, 보다 자세하게는 노즐을 이용한 스프레이 분사 방식을 사용한 광 도파로 제작 방법에 관한 것이다.본 발명의 상기 목적은 기판상에 스프레이로 제1 클래드 박막을 증착하는 단계; 상기 제1 클래드 박막 상에 스프레이로 코어 박막을 증착하는 단계; 상기 코어 박막에 포토마스크를 이용하여 노광한 후, 스프레이를 이용한 현상과 린스를 통하여 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 패턴 상에 스프레이로 제2 클래드 박막을 증착하는 단계를 포함하는 광 도파로의 제작 방법에 의해 달성된다.광 도파로, 스프레이 분사, 클래딩 박막, 코어 박막, 폴리머
Int. CL G02B 6/02 (2006.01)
CPC G02B 6/132(2013.01)G02B 6/132(2013.01)G02B 6/132(2013.01)G02B 6/132(2013.01)
출원번호/일자 1020050083464 (2005.09.08)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-0721317-0000 (2007.05.17)
공개번호/일자 10-2007-0028811 (2007.03.13) 문서열기
공고번호/일자 (20070525) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.09.08)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤형도 대한민국 경기 성남시 분당구
2 서용곤 대한민국 경기 성남시 분당구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서천석 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **, *층 (서초동, 서초다우빌딩)(특허법인세하)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2005.09.08 수리 (Accepted) 1-1-2005-0501648-03
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0618506-19
3 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.12.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0956427-03
4 의견서
Written Opinion		 2006.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2006-0956449-07
5 등록결정서
Decision to grant		 2007.03.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2007-0125232-19
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판상에 스프레이로 제1 클래드 박막을 증착하는 단계;상기 제1 클래드 박막 상에 스프레이로 코어 박막을 증착하는 단계;상기 코어 박막에 포토마스크를 이용하여 노광한 후, 스프레이를 이용한 현상과 린스를 통하여 패턴을 형성하는 단계; 및상기 패턴 상에 스프레이로 제2 클래드 박막을 증착하는 단계를 포함하는 광 도파로의 제작 방법
2 2
제 1항에 있어서,상기 패턴은 포토마스크를 이용하여 코어 박막에 직접 노광하고, 스프레이로 현상액 도포 및 린스하는 것을 특징으로 하는 광 도파로의 제작 방법
3 3
제 1항에 있어서,상기 기판은 실리콘, LiNbO3, 유리계열, 아크릴계열, 폴리마이드 기판 중 어느 하나를 사용하는 것을 특징으로 하는 광 도파로의 제작 방법
4 4
롤 형태의 베어 시트가 자동 라인에서 이송시 광 도파로의 제작 방법에 있어서,상기 베어 시트 상에 스프레이로 제1 클래드 박막을 증착하는 단계;상기 제1 클래드 박막 상에 스프레이로 코어 박막을 증착하는 단계;상기 코어 박막에 포토마스크를 이용하여 노광한 후, 스프레이를 이용한 현상과 린스를 통하여 패턴을 형성하는 단계; 및상기 패턴 상에 스프레이로 제2 클래드 박막을 증착하는 단계를 포함하는 광 도파로의 제작 방법
5 5
제 1항 또는 제 4항에 있어서,상기 제1 클래드 박막과 코어 박막은 일정온도로 소프트베이킹하는 것을 특징으로 하는 광 도파로의 제작 방법
6 6
제 4항에 있어서,상기 패턴은 직선, Y형 관, 마흐-젠더 및 벤딩 구조 중 어느 하나를 형성하는 것을 특징으로 하는 광 도파로의 제작 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.