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광 도파로를 개재하고 있고 광 도파로 단면이 노출된 광 인쇄회로기판을 고정하기 위한 지지부와; 상기 지지부에 고정되는 광 인쇄회로기판의 광 도파로 단면을 연마하는 연마패드와; 일면과 타면을 가지고 있고, 상기 연마패드가 일면에 부착된 휠과; 축 선단에 상기 휠의 타면이 고정된 모터와; 상기 모터를 고정시키고, 이동가능한 이동 스테이지로 이루어진 광 인쇄회로기판의 광도파로 연마 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 광 인쇄회로기판은, 홈 또는 관통홀이 형성되어 있으며, 상기 홈 또는 관통홀 내벽으로 상기 광 도파로 단면이 노출되어 있는 것을 특징으로 하는 광 인쇄회로기판의 광도파로 연마 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 연마패드의 표면에는, 연마제가 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 광 인쇄회로기판의 광도파로 연마 장치
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광 도파로를 개재하고 있고, 홈 또는 관통홀이 형성되어 있으며, 상기 홈 또는 관통홀 내벽으로 상기 광 도파로 단면이 노출된 광 인쇄회로 기판을 준비하는 제 1 단계와; 타면이 모터의 축 선단에 고정되어 있고, 일면에 연마패드가 부착된 휠을 상기 광 인쇄회로 기판의 홈 또는 관통홀 내부에 삽입시키는 제 2 단계와; 상기 휠의 일면에 부착된 연마패드를 상기 홈 또는 관통홀 내벽으로 노출된 광 도파로 단면에 밀착시키는 제 3 단계와; 상기 모터를 동작시켜 상기 휠을 회전시켜 연마패드로 광 도파로 단면을 연마하는 제 4 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 광 인쇄회로기판의 광도파로 연마 방법
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제 4 항에 있어서, 상기 연마패드의 표면에는, 연마제가 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 광 인쇄회로기판의 광도파로 연마 방법
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제 4 항에 있어서, 제 2 단계와 제 3 단계 사이 또는 제 3 단계와 제 4 단계 사이에, 상기 연마제가 포함된 용액을 연마패드에 제공하는 것을 특징으로 하는 광 인쇄회로기판의 광도파로 연마 방법
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제 4 항에 있어서, 제 2 단계와 제 3 단계 사이 또는 제 3 단계와 제 4 단계 사이에, 상기 연마제가 포함된 용액을 연마패드에 제공하는 것을 특징으로 하는 광 인쇄회로기판의 광도파로 연마 방법
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