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기판;
상기 기판상에 적층되며, 열을 발생하는 발열체;
상기 발열체로부터 일정 거리 이격되어 있으며, 상기 발열체로부터 발생되는 열을 감지하는 온도센서;
상기 발열체와 온도센서가 외부에 노출되는 것을 차단하며, SU-8, Teflon, PI 중 적어도 어느 하나 이상으로 적층된 상부 보호막을 포함하는 환경 측정용 센서
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제 1항에 있어서, 상기 온도센서는,
상기 온도센서의 개수는 적어도 n(n:4 이상의 자연수)개이며, 상기 발열체 주위를 360도/n의 각도 단위로 배치됨을 특징으로 하는 환경 측정용 센서
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제 1항에 있어서, 상기 발열체에서 발생된 열의 하부 방열을 막기 위해 상기 기판의 일정 영역을 에칭하며, 에칭한 일정 영역인 멤브레인에 하부 보호막을 적층함을 특징으로 하는 환경 측정용 센서
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제 3항에 있어서, 상기 하부 보호막은,
상기 SU-8, Teflon, PI 중 적어도 어느 하나 이상으로 적층됨을 특징으로 하는 환경 측정용 센서
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제 1항에 있어서, 상기 SU-8, Teflon, PI 중 적어도 두 개의 물질을 순차적으로 적층하는 경우, 상기 두 개의 물질 중 발수성이 높은 물질을 마지막으로 적층함을 특징으로 하는 환경 측정용 센서
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제 1항에 있어서, 상기 온도 센서와 상기 상부 보호막 사이에 실리콘산화막이 적층되어 있음을 특징으로 하는 환경 측정용 센서
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7
기판;
상기 기판상에 적층되며, 열을 발생하는 발열체;
상기 발열체로부터 일정 거리 이격되어 있으며, 상기 발열체로부터 발생되는 열을 감지하는 온도센서;
상기 발열체에서 발생된 열의 하부 방열을 막기 위해 상기 기판의 일정 영역을 에칭하며, 에칭한 일정 영역인 멤브레인에 SU-8, Teflon, PI 중 적어도 어느 하나 이상으로 적층된 하부 보호막을 포함하는 환경 측정용 센서
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제 7항에 있어서,
상기 온도 센서의 상부에 실리콘산화막이 적층되며, 상기 실리콘산화막의 사부에 SU-8, Teflon, PI 중 적어도 어느 하나 이상으로 적층된 상부 보호막을 더 포함하는 환경 측정용 센서
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