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웨이퍼와프로브헤드의접촉여부검사장치

  • 기술번호 : KST2015146849
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 웨이퍼상태의 초고주파용 부품의 특성 측정시 웨이퍼와 프로브헤드의 접촉 여부를 검사하기 위한 장치에 관하것이다. 본 발명은 균일하게 분배된 제 1기준신호와 제2기준신호를 이용하여, 제2기준신호가 웨이퍼에 인가되어 반사된 반사신호와 제1기준신호를 각각 신호처리한 후 비교하여 접촉여부확인신호를 표시수단에 도시된 상태도에 따라 웨이퍼와 프로브헤드의 접촉 요부를 검사한다. 이로써 스펙트럼 분석기등의 고가의 장비를 사용하지 않고 간단한 장치로 구성을 하여 검사비용 및 시간을 줄이고 정확하게 접촉 여부를 검사하며 잘못된 접촉방법에 따른 고가의 초고주파 프로브헤드의손상을 미연에 방지 할 수 있는 웨이퍼와 프로브헤드의 접촉 여부 검사 장치를 제공한다.
Int. CL G01R 31/28 (2006.01.01)
CPC G01R 31/2891(2013.01) G01R 31/2891(2013.01)
출원번호/일자 1019950004152 (1995.02.28)
출원인 한국전자기술연구원
등록번호/일자 10-0299477-0000 (2001.06.08)
공개번호/일자 10-1996-0031994 (1996.09.17) 문서열기
공고번호/일자 (20011022) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (1998.11.19)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박인식 대한민국 서울특별시성동구
2 김종규 대한민국 서울특별시송파구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 노민식 대한민국 서울특별시 서초구 서초대로**길 **, 이영필 특허법률사무소 (서초동, 청화빌딩)
2 이영필 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)(리앤목특허법인)
3 윤창일 대한민국 서울(특허법인 퇴사후 사무소변경 미신고)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 전자부품연구원 대한민국 경기 평택시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent		 1995.02.28 수리 (Accepted) 1-1-1995-0018838-15
2 특허출원서
Patent Application		 1995.02.28 수리 (Accepted) 1-1-1995-0018837-69
3 출원심사청구서
Request for Examination		 1998.11.19 수리 (Accepted) 1-1-1995-0754088-31
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 1999.02.22 수리 (Accepted) 4-1-1999-0036571-27
5 출원인명의변경신고서
Applicant change Notification		 1999.02.22 수리 (Accepted) 1-1-1999-5079034-64
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2000.10.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2000-0272066-98
7 의견서
Written Opinion		 2000.12.26 수리 (Accepted) 1-1-2000-5397498-32
8 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2000.12.26 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2000-5397510-04
9 등록사정서
Decision to grant		 2001.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0132219-72
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2005-5036534-08
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-0013766-37
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

웨이퍼와 프로브헤드의 접촉여부를 검사하는 장치에 있어서, 소정의 기준신호를 발생하기 위한 신호발생기와, 상기 신호발생기에서 발생된 상기 기준신호를 제1,2기준신호를 분배하기 위한 신호전력분배기, 상기 신호전력분배기에서 분배된 상기 제2기준신호와 상기 웨이퍼에서 반사된 반사신호는 상기 프로브헤드를 통하여 입력신호로 받아들이는 방향성결합기, 상기 신호전력분배기에서 분배된 제1기준신호와 상기 방향성 결합기의 출력 신호인 반사신호를 입력으로 하여 접촉여부확인신호를 생성하는 수신검출기 및 상기 수신검출ㄹ기에서 생성된 접촉여부확인신호를 입력으로 하여 접촉여부를 용이히게 확인학 수 있도록 하는 표시수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼와 프로브헤드의 접촉 여부 검사 정치

2 2

제1항에 있어서,

상기 신호전력분배기에서 출력되는 제1,2기준신호가 균일하게 1:1로 분배되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼와 프로브헤드의 접촉 여부 검사 장치

3 3

제1항에 있어서,

상기 수신검출기는, 상기 제1기준신호를 입력받아 소정의 제 1 중간 주파 신호를 변환하는 제1기준신호 처리수단과, 상기 반사신호를 입력받아 소정의 제 2 중간 주파신호로 변환하는 반사신호 처리수단과, 상기 제 1 중간 주파 신호와 상기 제 2 중간 주파 신호를 입력받아 접촉여부확인 신호를 출력하는 중앙처리장치로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼와 프로브헤드의 접촉 여부 검사 장치

4 4

상기 수신검출기에서는 스미스도표를 도시하는 접촉여부확인신호가 출력되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼와 프로브헤드의 접촉여부검사장치

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.