요약 | 본 발명은 고속 회전판을 이용한 입자 차단장치에 관한 것으로, 그 목적은 증착물질의 관찰창 코팅을 방지하여 용기내부 관찰을 용이하게 하고, 작업 효율과 생산성 및 품질을 향상시키는 고속 회전판을 이용한 입자 차단장치를 제공하는 것이다.본 발명은 증착물질의 관찰창 코팅을 방지함으로써 달성되는데 즉, 진공 용기 외부에 설치되고, 일측에 모터 속도 조절기가 설치되어 속도조절이 가능한 AC 모터; 상기 모터와 유니버설 조인트에 의해 회전축의 일측이 연결되고, 진공용기 외부에 설치되는 피드 스루(feed through); 상기 피드 스루가 고정·설치되고, 일측에 관찰창이 설치된 플랜지; 상기 모터와 일측이 연결된 피드 스루 회전축의 타측과 일측이 연결되고, 지지대에 의해 플랜지에 고정되도록 설치된 베어링에 양측단이 지지되며, 진공용기내에 위치하는 회전축; 상기 회전축의 중간부에 일정간격을 유지하며 설치되고, 중앙부에 회전축이 관통하는 삽입홀이 형성된 두 개의 회전판; 상기 회전판의 삽입홀을 중심으로 서로 대칭되는 위치에 각각 형성된 두 개의 슬릿을 포함하여 구성되어 모터의 회전에 의한 회전판의 고속회전에 의해 일정속도 이하의 입자를 차단하는 고속 회전판을 이용한 입자 차단장치를 제공함에 있다. |
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Int. CL | G21K 1/00 (2006.01.01) C23C 14/24 (2006.01.01) |
CPC | C23C 14/24(2013.01) |
출원번호/일자 | 1019980013782 (1998.04.17) |
출원인 | 한국전력공사, 한국원자력연구원 |
등록번호/일자 | 10-0273040-0000 (2000.09.01) |
공개번호/일자 | 10-1999-0080473 (1999.11.05) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20001201) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (1998.04.17) |
심사청구항수 | 2 |