| 1 |
1
피조사체인 필름(13)에 상단부 이온원(17)으로부터 빔이 조사되는 이온빔 조사방법에 있어서, 상기 피조사체인 필름(13) 양측면에 상·하단 이온원(17,18)을 구비시켜 상·하단 양면에서 이온빔을 조사하되, 중첩원리를 이온원 전극에 적용시키기 위해 상기 이온원(17,18) 전극의 전극원판(8)에 복수개의 전극구멍(10,11)을 형성시키고, 상기 전극구멍을 통해 인출된 빔 전류분포를 각각의 유사-가우시안 분포를 중첩시키는 단계를 포함함으로서 균일한 이온빔 분포 특성을 갖는 양면 이온빔 조사방법
|
| 2 |
2
캐소드(1), 중간전극(2), 애노드(3), 반사전극(4), 인출전극(5), 필라멘트(6)로 구성되는 이온원에 있어서, 상기 중첩원리가 적용된 이온원은 애노드(3), 반사전극(4), 인출전극(5) 부분의 전극원판(8)에 복수 개의 전극 구멍(10,11)이 형성된 것을 특징으로 하는 양면 이온빔 조사장치
|
| 3 |
3
제 3 항에 있어서, 상기 중첩원리가 적용된 이온원(17,18)은 전극 전극 구멍 직경이 애노드(3)는 6mm, 반사전극(4)은 8mm, 인출전극(5)은 8mm로 두개의 전극구멍이 형성되고, 상기 전극 구멍 중심 사이의 거리가 16mm인 것을 특징으로 하는 양면 이온빔 조사장치
|
| 4 |
4
제 3 항에 있어서, 상기 중첩원리가 적용된 이온원(17,18)은 전극 구멍 직경이 애노드(3)는 8mm, 반사전극(4)은 12mm, 인출전극(5)은 12mm이고, 상기 전극 구멍 중심 사이의 거리가 16mm인 것을 특징으로 하는 양면 이온빔 조사장치
|
