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전계방출팁을 이용한 저에너지 대면적 전자빔 조사장치

  • 기술번호 : KST2015147166
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전계방출팁을 이용하여 높은 전류밀도로 광범위한 전자빔의 조사가 이루어질 수 있도록 하는 전자빔 조사장치에 관한 것이다. 본 발명은 둘레의 일측에 길이방향으로 전자빔 조사창이 형성된 진공챔버; 상기 진공챔버의 내부 중심 길이방향으로 구비되고, 둘레의 일측으로 상기 전자빔 조사창에 대응되는 전계방출팁이 형성된 음극; 및 상기 진공챔버의 일단에 구비되고, 상기 음극측으로 고전압을 인가시키는 고전압 인가부; 를 포함하는 전자빔 조사장치를 구비한다. 본 발명에 의하면, 전자석을 사용하지 않고서도 넓은 폭으로 광범위한 전자빔의 조사가 이루어질 수 있을 뿐만 아니라 필라멘트와 같은 가열수단이나 별도의 추가적인 전원장치 등이 없이도 높은 전류밀도의 전자빔의 조사가 이루어질 수 있고, 또한 이로 인해 구조의 단순화 및 소형화를 확보할 수 있는 효과가 있다. 전자빔 조사장치, 탄소나노튜브, 진공챔버, 음극
Int. CL C01B 31/02 (2011.01) H01J 31/02 (2011.01) H01J 1/304 (2011.01)
CPC H01J 31/02(2013.01) H01J 31/02(2013.01) H01J 31/02(2013.01) H01J 31/02(2013.01) H01J 31/02(2013.01) H01J 31/02(2013.01) H01J 31/02(2013.01) H01J 31/02(2013.01)
출원번호/일자 1020040015693 (2004.03.09)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-0577473-0000 (2006.04.28)
공개번호/일자 10-2005-0090556 (2005.09.14) 문서열기
공고번호/일자 (20060510) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.03.09)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이병철 대한민국 대전광역시 유성구
2 임영경 대한민국 대전광역시 서구
3 한영환 대한민국 대전광역시 대덕구
4 정영욱 대한민국 대전광역시 유성구
5 박성희 대한민국 대전광역시 유성구
6 이철진 대한민국 서울특별시 도봉구
7 이태재 대한민국 충청북도 영동군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구소 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.03.09 수리 (Accepted) 1-1-2004-0096872-99
2 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items
2004.08.05 수리 (Accepted) 1-1-2004-0350564-23
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2005.07.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2005.08.19 수리 (Accepted) 9-1-2005-0053220-98
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2005.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0551499-48
6 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period
2005.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2005-0759535-70
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.01.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0074711-11
8 의견서
Written Opinion
2006.01.31 수리 (Accepted) 1-1-2006-0074710-76
9 등록결정서
Decision to grant
2006.04.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0235458-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.05.14 수리 (Accepted) 4-1-2007-5073714-01
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.06.01 수리 (Accepted) 4-1-2007-5085193-38
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.07.26 수리 (Accepted) 4-1-2007-5117973-29
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.07.26 수리 (Accepted) 4-1-2007-5117707-02
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2012-5134067-95
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
둘레의 일측에 길이방향으로 전자빔 조사창이 형성된 진공챔버; 상기 진공챔버의 내부 중심 길이방향으로 구비되고, 둘레의 일측으로 상기 전자빔 조사창에 대응되는 전계방출팁이 형성된 음극; 상기 진공챔버의 일단에 구비되고, 상기 음극측으로 고전압을 인가시키는 고전압 인가부; 상기 진공챔버의 일측에 결합되고, 상기 고전압 인가부를 구비하는 제 1 진공플랜지;상기 진공챔버의 타측에 결합되는 제 2 진공플랜지;상기 음극의 일측단에 핀삽입공을 형성하고, 상기 고전압 인가부의 일측에는 상기 고전압 인가부의 접속핀이 관통하는 제 1 절연체를 구비하여 상기 제 1 절연체를 관통한 접속핀이 음극의 핀삽입공에 삽입되도록 구성된 제 1 지지부; 및상기 제 2 진공플랜지의 중심부에 종축방향으로 구비된 제 2 절연체에 삽입홈을 형성하여 음극의 타측단에 형성되는 삽입돌부가 상기 삽입홈에 삽입되어 음극을 지지하도록 구성된 제 2 지지부; 를 포함하는 전자빔 조사장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 전계방출팁은 탄소나노튜브인 것을 특징으로 하는 전자빔 조사장치
3 3
제 1항에 있어서, 상기 음극은 원형단면을 갖는 봉체로 형성되고, 그 봉체의 외주면 길이방향으로 띠 형태의 전계방출팁이 형성되는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사장치
4 4
삭제
5 5
제 1항에 있어서, 상기 전자빔 조사창은, 상기 진공챔버의 외측으로 다소 돌출되고 중앙부에 폭이 좁고 길이가 긴 직사각형태의 투시공이 형성된 베이스판; 상기 베이스판의 투시공 외곽을 따라 형성되는 와이어 삽입홈에 삽입되는 금속와이어; 상기 금속와이어가 둘러싸는 면적보다 다소 큰 면적으로 금속와이어 상측에 구비되는 금속막; 및 상기 베이스판과 대응되고 중앙부에 투시공에 상응하는 빔조사공이 형성되어 베이스판과 결합되는 덮개판; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사장치
6 6
제 1항 또는 제 3항에 있어서, 상기 진공챔버는 원통형태로 형성되고, 그 외주면에 다수의 전자빔 조사창이 형성되며, 상기 진공챔버 내부의 음극 외주면에는 상기 전자빔 조사창과 각각 대응되는 전계방출팁이 형성되는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사장치
7 6
제 1항 또는 제 3항에 있어서, 상기 진공챔버는 원통형태로 형성되고, 그 외주면에 다수의 전자빔 조사창이 형성되며, 상기 진공챔버 내부의 음극 외주면에는 상기 전자빔 조사창과 각각 대응되는 전계방출팁이 형성되는 것을 특징으로 하는 전자빔 조사장치
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP01735810 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 EP01735810 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
3 JP04977006 JP 일본 FAMILY
4 JP19528497 JP 일본 FAMILY
5 US07671522 US 미국 FAMILY
6 US20070278928 US 미국 FAMILY
7 WO2005086201 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 CN1954402 CN 중국 DOCDBFAMILY
2 CN1954402 CN 중국 DOCDBFAMILY
3 EP1735810 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
4 EP1735810 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
5 EP1735810 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
6 JP2007528497 JP 일본 DOCDBFAMILY
7 JP2007528497 JP 일본 DOCDBFAMILY
8 JP2007528497 JP 일본 DOCDBFAMILY
9 JP4977006 JP 일본 DOCDBFAMILY
10 US2007278928 US 미국 DOCDBFAMILY
11 US7671522 US 미국 DOCDBFAMILY
12 WO2005086201 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
국가 R&D 정보가 없습니다.