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거대자기 임피던스를 이용하는 자기저항소자로서,코발트, 니켈, 철을 포함하는 강자성층과;상기 강자성층의 일부에 이온을 주입하여 형성된 반강자성층을 포함하고, 상기 강자성층과 반강자성층이 교대로 복수 반복되는 다층박막구조를 가지는, 자기저항 소자
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제 1 항에 있어서,상기 강자성층은 고투자율의 Co계 비정질 리본인 것을 특징으로 하는, 자기저항 소자
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 반강자성층의 형성에 사용되는 주입 이온은 N, Ar, Xe 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 자기저항 소자
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제 3 항에 있어서,상기 반강자성층의 형성을 위한 이온주입시, 사용되는 인가 주파수는 5MHz이상인 것을 특징으로 하는, 자기저항 소자
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거대자기 임피던스를 이용하는 자기저항 소자를 제조하는 방법으로서,코발트, 니켈, 철을 포함하는 강자성층을 형성하는 단계와;상기 강자성층의 복수의 특정부위에 이온을 주입하여 반강자성층을 형성하는 단계와; 상기 강자성층과 반강자성층을 교대로 반복하여 형성하는 단계를 포함하고, 상기 자기저항 소자는 복수의 강자성층과 반강성층의 다층박막구조를 가지도록 형성되는, 자기저항 소자의 제조방법
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제 5 항에 있어서, 상기 강자성층은 고투자율의 Co계 비정질 리본으로 형성되는 것을 특징으로 하는, 자기저항 소자의 제조방법
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제 5 항에 있어서,상기 반강자성층 형성 단계에서는, 진공중에서 가스 이온 또는 금속이온을 조사하여 상기 강자성층의 표면 및 내부에 반강자성층을 형성하는 것을 특징으로 하는, 자기저항 소자의 제조방법
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제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 반강자성층의 형성에 사용되는 주입 이온은 N, Ar, Xe 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 자기저항 소자의 제조방법
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제 8 항에 있어서,상기 반강자성층의 형성을 위한 이온주입시, 사용되는 인가 주파수는 5MHz이상인 것을 특징으로 하는, 자기저항 소자의 제조방법
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