요약 |
본 발명은 고전압 터미널의 전력공급장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 고전압 터미널의 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급해주기 위한 전력공급장치에 있어서, 고전압 터미널 내부에 연료 전지 또는 이차 전지 등의 전력공급모듈을 설치하고, 고전압 터미널 외부에 상기 전력공급모듈들의 충전을 위한 충전모듈을 설치함으로써, 전력공급장치의 설치 공간을 줄이고, 전력공급장치의 가동을 지속적으로 유지시킬 수 있는 이온주입기용 전력공급장치에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은, 고전압 터미널 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하기 위한 장치에 있어서, 상기 이온 주입기 모듈이 수용된 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하는 연료 전지 및 상기 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 연료 전지에 연료를 공급하는 연료공급모듈을 포함한다. 또한, 고전압 터미널 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하기 위한 장치에 있어서, 상기 이온 주입기 모듈이 수용된 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하는 연료 전지 및 상기 고전압 터미널 외부에 구비되어 절연 호스를 통해 상기 연료 전지에 연료를 공급하는 연료공급모듈을 포함한다. 또한, 고전압 터미널 내부에 수용된 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하기 위한 장치에 있어서, 상기 이온 주입기 모듈이 수용된 고전압 터미널 내부에 구비되어 상기 이온 주입기 모듈에 전력을 공급하는 이차 전지 및 상기 고전압 터미널 외부에 구비되어, 상기 이차 전지의 방전시, 전력선을 통해 상기 이차 전지를 충전하기 위한 전력을 공급하는 전원을 포함한다. 이온, 이온빔, 조사, 주입, 모듈, 장치, 연료, 기체, 전력, 고전압, 터미널
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