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이온유입공이 형성된 원통 형상으로 이루어지되, 저면에 상기 이온유입공으로부터 하부로 단차가 형성되어 시편을 고정하는 베이스 고정부와, 상기 베이스 고정부에 일체로 연결되는 베이스 결합부가 구비된 비자성 재질의 커버부;
상기 커버부와 대응하여 결합하며 중심에 시편 홀더가 형성된 원통 형상으로 이루어지되, 외주면에 3중 단차가 형성되어 상기 베이스 고정부가 결합되는 제 1단차부와, 상기 베이스 결합부가 결합되는 제 2단차부 및 이온조사장치에 부착되는 제 3단차부가 구비된 비자성 재질의 베이스부; 및
전해연마방법으로 제조되며 중앙에 홀(hole)이 구비된 다수의 투과전자현미경(Transmission Electron Microscopy,TEM) 시편을 순차적으로 적층하여 형성되며 상기 시편 홀더에 안착되는 다중선회시편(Multi-Stacking Specimen)을 포함하고,
상기 베이스부는 상기 제 1단차부의 상면에 형성되어 상기 시편 홀더에 안착된 상기 다중선회시편(Multi-Stacking Specimen)을 쉽게 꺼낼수 있도록 상기 시편 홀더를 중심으로 방사형으로 형성된 다수의 가이드 홈을 포함하며,
상기 시편 홀더는 상기 다중선회시편(Multi-Stacking Specimen)의 상하부에 투과전자현미경(Transmission Electron Microscopy,TEM) 시편을 서로 밀착시키는 와셔를 구비하되,
상기 와셔는 상기 시편 홀더의 저면에 구비되어 상기 투과전자현미경(Transmission Electron Microscopy,TEM) 시편을 보호하는 제 1와셔; 및
상기 다중선회시편(Multi-Stacking Specimen)의 상부에 구비되어 상기 커버부와 베이스부가 결합할 경우 다수의 상기 투과전자현미경(Transmission Electron Microscopy,TEM) 시편들을 서로 밀착시키는 제 2와셔를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온조사용 지그
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이온유입공이 형성된 원통 형상으로 이루어지되, 저면에 상기 이온유입공으로부터 상부로 단차가 형성되어 시편을 고정하는 베이스 고정부와, 상기 베이스 고정부에 일체로 연결되는 베이스 결합부가 구비된 비자성 재질의 커버부;
상기 커버부와 대응하여 결합하며 중심에 시편 홀더가 형성된 원통 형상으로 이루어지되, 상면에 상기 시편 홀더로부터 상부로 단차가 형성되어 상기 베이스 고정부가 안착되는 제 1단차부와, 외주면에 2중 단차가 형성되어 상기 베이스 결합부가 안착되는 제 2단차부 및 이온조사장치에 부착되는 제 3단차부가 구비된 비자성 재질의 베이스부; 및
전해연마방법으로 제조되며 중앙에 홀(hole)이 구비된 다수의 투과전자현미경(Transmission Electron Microscopy,TEM) 시편을 순차적으로 적층하여 형성되며 상기 시편 홀더에 안착되는 다중선회시편(Multi-Stacking Specimen)을 포함하되,
상기 베이스부는 상기 제 1단차부의 상면에 형성되어 상기 시편 홀더에 안착된 상기 다중선회시편(Multi-Stacking Specimen)을 쉽게 꺼낼수 있도록 상기 시편 홀더를 중심으로 방사형으로 형성된 다수의 가이드 홈을 포함하며,
상기 시편 홀더는 상기 다중선회시편(Multi-Stacking Specimen)의 상하부에 투과전자현미경(Transmission Electron Microscopy,TEM) 시편을 서로 밀착시키는 와셔를 구비하되,
상기 와셔는 상기 시편 홀더의 저면에 구비되어 상기 투과전자현미경(Transmission Electron Microscopy,TEM) 시편을 보호하는 제 1와셔; 및
상기 다중선회시편(Multi-Stacking Specimen)의 상부에 구비되어 상기 커버부와 베이스부가 결합할 경우 다수의 상기 투과전자현미경(Transmission Electron Microscopy,TEM) 시편들을 서로 밀착시키는 제 2와셔를 포함하는 것을 특징으로 하는 이온조사용 지그
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 이온유입공은 직경이 상기 시편 홀더의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는 이온조사용 지그
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 베이스 결합부에 형성되는 제 1결합공과 상기 제 2단차부에 형성되는 결합홈에 결합부재가 삽입되어 상기 커버부와 베이스부가 결합되는 것을 특징으로 하는 이온조사용 지그
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제 6항에 있어서,
상기 결합부재는 볼트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 이온조사용 지그
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 제 3단차부는 상기 베이스부와 이온조사장치를 결합시키는 결합부재가 삽입되는 제 2결합공이 형성되는 것을 특징으로 하는 이온조사용 지그
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제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 다중선회시편(Multi-Stacking Specimen)은 상층에 상기 투과전자현미경(Transmission Electron Microscopy,TEM) 시편의 일부분을 가릴 수 있는 반원 형상의 조각 시편이 적층되어 하나의 투과전자현미경(Transmission Electron Microscopy,TEM) 시편에서 이온이 투과되어 형성된 결함이 생성되는 영역과, 이온이 투과되지 못하여 결함이 생성되지 않는 영역을 동시에 얻을 수 있는 것을 특징으로 하는 이온조사용 지그
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