요약 | 단결정 성장 중 발생되는 스트레스를 최소화할 수 있는 단결정 성장용 앰플 및 이를 포함하는 단결정 성장장치가 개시된다. 개시된 본 발명에 의한 단결정 성장장치는, 단결정 시료가 장착되는 앰플, 앰플을 가열하는 히터 및, 앰플 또는 히터를 단결정 시료가 성장되는 방향으로 승하강시키는 구동부를 포함하며, 앰플은 단결정 성장방향에 대해 비평행한 형상을 가지는 앰플 몸체를 구비한다. 이러한 구성에 의하면 성장과정에서 발생되는 부피변화에 따른 단결정 시료와 앰플 사이의 스트레스를 보완할 수 있어, 성장된 단결정 잉곳의 품질을 보다 향상시킬 수 있게 된다. 단결정, 잉곳, 성장, 브릿지만, 석영, 부피, 비평행, 직경, 확장, 축소. |
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Int. CL | C30B 11/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) |
CPC | C30B 11/002(2013.01) C30B 11/002(2013.01) C30B 11/002(2013.01) C30B 11/002(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020090133774 (2009.12.30) |
출원인 | 한국원자력연구원 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2011-0077261 (2011.07.07) 문서열기 |
공고번호/일자 | |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 거절 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2009.12.30) |
심사청구항수 | 7 |