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단결정 성장 중 앰플과 단결정 사이의 스트레스를 최소화시킬 수 있는 단결정 성장용 앰플 및 이를 포함하는 단결정 성장장치

  • 기술번호 : KST2015147323
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 단결정 성장 중 발생되는 스트레스를 최소화할 수 있는 단결정 성장용 앰플 및 이를 포함하는 단결정 성장장치가 개시된다. 개시된 본 발명에 의한 단결정 성장장치는, 단결정 시료가 장착되는 앰플, 앰플을 가열하는 히터 및, 앰플 또는 히터를 단결정 시료가 성장되는 방향으로 승하강시키는 구동부를 포함하며, 앰플은 단결정 성장방향에 대해 비평행한 형상을 가지는 앰플 몸체를 구비한다. 이러한 구성에 의하면 성장과정에서 발생되는 부피변화에 따른 단결정 시료와 앰플 사이의 스트레스를 보완할 수 있어, 성장된 단결정 잉곳의 품질을 보다 향상시킬 수 있게 된다. 단결정, 잉곳, 성장, 브릿지만, 석영, 부피, 비평행, 직경, 확장, 축소.
Int. CL C30B 11/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01)
CPC C30B 11/002(2013.01) C30B 11/002(2013.01) C30B 11/002(2013.01) C30B 11/002(2013.01)
출원번호/일자 1020090133774 (2009.12.30)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2011-0077261 (2011.07.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.12.30)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박세환 대한민국 대전광역시 유성구
2 이재형 대한민국 대전시 서구
3 하장호 대한민국 대전광역시 서구
4 조윤호 대한민국 대전광역시 서구
5 김한수 대한민국 경기도 양주시 독바위로 **-

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.12.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0815312-47
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.07.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.08.10 수리 (Accepted) 9-1-2011-0064061-89
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.12.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0755057-18
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2012.02.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0135571-87
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2012-5134067-95
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.07.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0423377-05
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
단결정 성장에 채용되어 대상 시료가 장착되는 단결정 성장용 앰플에 있어서, 단결정 성장방향에 대해 비평행한 형상을 가지는 앰플 몸체; 를 포함하는 단결정 성장용 앰플
2 2
제1항에 있어서, 상기 앰플 몸체는 상기 단결정 성장방향으로 직경이 확장되는 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 앰플
3 3
제2항에 있어서, 상기 시료는 성장 중 부피가 커지는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 앰플
4 4
제1항에 있어서, 상기 앰플 몸체는 상기 단결정 성장방향으로 직경이 축소되는 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 앰플
5 5
제4항에 있어서, 상기 시료는 성장 중 부피가 작아지는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 앰플
6 6
단결정 시료가 장착되는 앰플; 상기 앰플을 가열하는 히터; 및 상기 앰플 또는 히터를 상기 단결정 시료가 성장되는 방향으로 승하강시키는 구동부; 를 포함하며, 상기 앰플은 상기 단결정 성장방향에 대해 비평행한 형상을 가지는 앰플 몸체를 구비하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
7 7
제6항에 있어서, 상기 앰플 몸체는 상기 단결정 성장방향으로 직경이 확장되거나, 축소되는 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.