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RF 발생기에서 전자가속기로 공급되는 RF 파워인 순방향 신호를 입력받아 특정 주파수 대역만을 통과시키는 제 1대역통과필터(10a);상기 전자가속기로부터 반사되는 역방향 신호를 입력받아 특정 주파수 대역만을 통과시키는 제 2대역통과필터(10b);상기 제 1대역통과필터(10a)를 통과한 신호의 위상차를 보상하기 위한 위상 천이부(30);상기 위상 천이부(30) 및 제 2대역통과필터(10b)를 통과한 각 신호의 위상을 측정하는 위상 검출부(50); 상기 위상 천이부(30) 및 제 2대역통과필터(10b)를 통과한 두 신호의 주파수 차이를 측정하는 주파수 검출부(60); 및상기 위상 검출부(50) 및 주파수 검출부(60)로부터 측정된 값을 알고리즘을 통해 이진화하여 공진주파수의 Up/Down을 선택하게 되고, 이를 바탕으로 상기 RF 발생기에서 출력되는 RF 파워의 공진주파수를 보정하는 제어부(70);를 포함하여 이루어져 전자가속기 내의 공진주파수와 상기 전자가속기에 공급되는 RF 파워의 공진주파수를 일치시키기 위한 자동 주파수 제어 모듈
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제 1항에 있어서, 상기 자동 주파수 제어 모듈은,상기 제 1대역통과필터(10a) 제 2대역통과필터(10b)를 통과한 각각의 신호의 크기를 감쇄시키는 제 1감쇄부(20a) 및 제 2감쇄부(20b);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 주파수 제어 모듈
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제 1항에 있어서, 상기 자동 주파수 제어 모듈은,상기 위상 천이부(30) 및 제 2대역통과필터(10b)를 통과한 각 신호의 크기를 측정하는 제 1진폭 검출부(40a) 및 제 2진폭 검출부(40b);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 주파수 제어 모듈
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제 1항에 있어서, 상기 자동 주파수 제어 모듈은,측정 시점을 동기화시키기 위해 각 검출부를 트리거링하는 트리거부(80);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 주파수 제어 모듈
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RF 발생기에서 전자가속기로 공급되는 RF 파워인 순방향 신호 및 상기 전자가속기로부터 반사되는 역방향 신호를 입력받는 신호 입력 단계(S100);상기 신호 입력 단계에서 입력된 순방향 신호 및 역방향 신호에서 특정 주파수 대역만을 걸러내는 주파수 대역 추출 단계(S200);상기 특정 주파수 대역만을 걸러낸 순방향 신호의 위상차를 보상하기 위해 위상을 천이시키는 위상 천이 단계(S400);상기 주파수 대역 추출 단계를 통과한 역방향 신호 및 상기 위상 천이 단계를 통과한 순방향 신호의 위상 및 주파수 차이를 측정하는 위상 및 주파수 측정 단계(S600); 및상기 위상 및 주파수 측정 단계에서 측정된 값을 알고리즘을 통해 이진화하여 공진주파수의 Up/Down을 선택하게 되고, 이를 바탕으로 공진주파수를 보정하기 위한 보정값을 출력하는 보정값 출력 단계(S700);를 포함하여 이루어져 전자가속기 내의 공진주파수와 상기 전자가속기에 공급되는 RF 파워의 공진주파수를 일치시키기 위한 자동 주파수 제어 방법
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제 5항에 있어서,상기 주파수 대역 추출 단계(S200)와 위상 천이 단계 사이(S400)에,상기 특정 주파수 대역만을 걸러낸 순방향 신호 및 역방향 신호의 크기를 감쇄시키는 감쇄 단계(S300);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 주파수 제어 방법
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제 5항에 있어서,상기 위상 천이 단계(S400)와 위상 및 주파수 측정 단계(S600) 사이에,상기 주파수 대역 추출 단계를 통과한 역방향 신호 및 상기 위상 천이 단계를 통과한 순방향 신호의 크기를 측정하는 진폭 측정 단계(S500);를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 주파수 제어 방법
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