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레이저 유도 입자 발생을 위한 진공층을 가지는 이중층 타겟에 있어서, 레이저의 선행펄스와 반응하여 플라즈마를 생성하는 제 1 타겟층; 레이저의 주 펄스에 의해 이온빔을 발생하는 제 2 타겟층; 및 상기 플라즈마에 의한 충격파가 상기 제 2 타겟층에 전달되는 것을 방지하기 위해 상기 제 1 타겟층과 상기 제 2 타겟층 사이에 형성되는 진공층을 포함하고, 상기 제 2 타겟층에서 발생한 이온빔의 일부가 상기 제 1 타겟층에서 발생된 플라즈마에 의해 반사되어 다시 상기 제 2 타겟층으로 주입되며,상기 제 1 타겟층, 상기 제 2 타겟층 및 상기 진공층은 1 내지 10 마이크로미터의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는진공층을 가지는 이중층 타겟
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제 1항에 있어서, 상기 제 1 타겟층은, 알루미늄, 티타늄 또는 탄탈륨을 포함하는 금속물질로 이루어지는 진공층을 가지는 이중층 타겟
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제 3항에 있어서, 상기 제 2 타겟층은, 알루미늄, 티타늄 또는 탄탈륨을 포함하는 금속물질, 또는, 플라스틱 물질로 이루어지는 진공층을 가지는 이중층 타겟
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제 4항에 있어서, 상기 제 2 타겟층은, 이온빔 발생을 위한 이온이 포함된 물질을 상기 제 2 타겟층이 상기 진공층과 접하는 측면에 코팅하여 형성되는 가속이온층을 더 포함하는 진공층을 가지는 이중층 타겟
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제 5항에 있어서, 상기 가속이온층은, 수소, 산소 또는 탄소를 이용하여 형성되는 진공층을 가지는 이중층 타겟
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제 6항에 있어서, 상기 제 1 타겟층 및 상기 제 2 타겟층은, 상기 이온빔보다 높은 원자수의 물질을 사용하여 형성되는 진공층을 가지는 이중층 타겟
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