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펄스 운전을 이용한 이온빔 조사량 조절방법

  • 기술번호 : KST2015147597
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 이온원 및 상기 이온원에 인가되는 전압을 조절하는 스위치를 포함하는 이온빔 조사장치에 조사물을 장착하고 이온빔을 펄스 단위로 조사하는 제1단계, 및 상기 조사물에서 요구되는 조사량에 변경된 경우, 상기 스위치의 스위칭 타임을 조절함으로써 피크전류는 그대로 유지하면서 이온빔의 펄스폭 또는 펄스 반복률을 변화시켜 평균전류를 조절하는 제2단계를 포함하는 펄스 운전을 이용한 이온빔 조사량 조절방법을 개시한다.
Int. CL H01J 37/317 (2006.01)
CPC H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01)
출원번호/일자 1020110145866 (2011.12.29)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-1361719-0000 (2014.02.05)
공개번호/일자 10-2013-0077256 (2013.07.09) 문서열기
공고번호/일자 (20140213) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.12.29)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조용섭 대한민국 대전광역시 유성구
2 권혁중 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.12.29 수리 (Accepted) 1-1-2011-1049675-75
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2012-5134067-95
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.02.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.03.08 수리 (Accepted) 9-1-2013-0014597-02
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.06.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0450901-98
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0787139-70
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.08.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0787136-33
8 등록결정서
Decision to grant
2014.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0052303-15
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
서로 다른 이온 조사량이 요구되는 복수의 조사물에 연속적으로 이온을 조사하기 위해 이온빔의 조사량을 조절하는 방법에 있어서,이온원 및 상기 이온원에 인가되는 전압을 조절하는 스위치를 포함하는 이온빔 조사장치에 조사물을 장착하고 이온빔을 펄스 단위로 조사하는 제1단계; 및상기 조사물에서 요구되는 이온 조사량이 변경된 경우, 상기 스위치의 스위칭 타임을 조절함으로써 피크전류는 그대로 유지하면서 이온빔의 펄스폭 또는 펄스 반복률을 변화시켜 상기 변경된 조사량에 대응되도록 평균전류를 변경하는 제2단계;를 포함하는 이온빔 조사량 조절방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 이온빔 조사장치는, 플라즈마 발생부와, 플라즈마 발생부를 둘러싼 인출전극과, 상기 인출전극과 이격된 접지전극을 포함하는 이온원과,상기 조사물이 장착되는 스테이지와,상기 인출전극과 접지전극의 양단에 전압을 인가하는 전원부, 및 상기 전원부에 연결된 스위치를 포함하는 펄스 운전을 이용한 이온빔 조사량 조절방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 스위치는 반도체 스위치인 펄스 운전을 이용한 이온빔 조사량 조절방법
4 4
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국원자력연구원 양성자기반공학기술개발사업단 양성자기반공학기술개발사업 가속장치전원계통개발