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분석될 시료를 에어로졸 상태로 전환시키는 에어로졸 생성부;플라즈마를 생성하고, 상기 에어로졸 생성부와 연결되어 에어로졸 상태의 시료를 공급받으며, 상기 에어로졸 상태의 시료를 상기 플라즈마에 분무하여 이온화시키도록 이루어지는 이온화부;상기 이온화부에서 생성된 이온들을 질량별로 나누어 전기적으로 검출하는 분석모듈;상기 플라즈마의 상태를 검출하도록 상기 플라즈마가 방출하는 광선을 수집하여 스펙트럼을 생성하는 스펙트럼 생성부;상기 스펙트럼 생성부와 연결되어 상기 스펙트럼으로부터 상기 플라즈마의 온도 및 전자 밀도를 산출하는 산출부; 및상기 플라즈마의 온도 및 전자 밀도를 이용하여, 상기 플라즈마의 상태와 상기 분석모듈에서 측정된 이온신호의 민감도의 상관관계를 예측하는 예측부를 포함하는 유도결합플라즈마 질량분석기
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제1항에 있어서,상기 스펙트럼 생성부는,상기 플라즈마를 향하여 배치되는 콜리메이터;상기 광선을 파장의 차이에 따라 분해하여 상기 스펙트럼을 생성하는 분광기; 및상기 콜리메이터와 분광기를 연결하는 광섬유를 포함하는 유도결합플라즈마 질량분석기
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제2항에 있어서,상기 이온화부는 상기 에어로졸 생성부가 연결되는 하우징과, 상기 하우징 내에 배치되어 상기 플라즈마를 생성하도록 형성되는 플라즈마 토치를 구비하며, 상기 콜리메이터는 상기 하우징에 장착되는 것을 특징으로 하는 유도결합플라즈마 질량분석기
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제3항에 있어서,상기 하우징에는 관통홀이 형성되고, 상기 콜리메이터는 상기 관통홀에 고정되어 상기 플라즈마를 향하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 유도결합플라즈마 질량분석기
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유도결합플라즈마 질량분석기의 플라즈마의 상태를 검출하는 플라즈마 검출장치에 있어서,상기 플라즈마가 방출하는 광선을 수집하여 스펙트럼을 생성하는 스펙트럼 생성부;상기 스펙트럼 생성부와 연결되어 상기 스펙트럼으로부터 상기 플라즈마의 온도 및 전자 밀도를 산출하는 산출부; 및상기 플라즈마의 온도 및 전자 밀도를 이용하여, 상기 플라즈마의 상태와 분석모듈에서 측정된 이온신호의 민감도의 상관관계를 예측하는 예측부를 포함하는 유도결합플라즈마 질량분석기의 플라즈마 검출장치
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제7항에 있어서,상기 스펙트럼 생성부는,상기 플라즈마를 향하여 배치되도록 상기 유도결합플라즈마 질량분석기의 적어도 일부에 장착되는 콜리메이터;상기 광선을 파장의 차이에 따라 분해하여 상기 스펙트럼을 생성하는 분광기; 및상기 콜리메이터와 분광기를 연결하는 광섬유를 포함하는 유도결합플라즈마 질량분석기의 플라즈마 검출장치
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유도결합플라즈마 질량분석기에서 시료의 이온신호를 생성하는 단계;상기 시료를 이온화시키는 플라즈마가 방출하는 광선을 수집하고, 분광기에 의하여 상기 광선으로부터 스펙트럼을 생성하는 단계; 상기 스펙트럼을 이용하여 상기 플라즈마의 상태를 산출하는 단계; 및상기 플라즈마의 상태와 상기 이온신호의 민감도나 재현성을 비교하는 단계를 포함하는 유도결합플라즈마 질량분석기에서 플라즈마와 이온신호의 상관관계 분석방법
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