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CNT실(yarn)을 전자빔 방출 소스로 사용하여 전자빔을 발생시키는 전자빔 발생부;상기 전자빔이 입사되어 가속되는 가속관; 및고주파를 발생시키고, 상기 전자빔 발생부와 상기 가속관에 각각 고주파를 인가하되, 상기 전자빔 발생부와 상기 가속관에 서로 다른 파워를 갖는 고주파를 인가하는 고주파 발생부;를 포함하는 전자빔 발생장치
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제1항에 있어서,상기 고주파 발생부는,상기 고주파 발생부에 전원을 인가하는 고주파 구동부;상기 고주파 발생부에 고전압을 인가하는 고전압 모듈레이터(high power modulator); 및상기 고주파 발생부에 저전압을 인가하는 저전압 모듈레이터(low power modulator);를 포함하는 전자빔 발생장치
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제2항에 있어서,상기 고주파 구동부는 상기 고전압 모듈레이터와 상기 저전압 모듈레이터를 동조시키는 전자빔 발생장치
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제2항에 있어서,상기 저전압 모듈레이터는 상기 전자빔 발생부와 상기 고주파 발생부 사이에 구비되어 상기 전자빔 발생부에 고주파를 인가하도록 구비되는 전자빔 발생장치
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제2항에 있어서,상기 고전압 모듈레이터는 상기 고주파 발생부에 연결되고,상기 고주파 발생부는 상기 가속관에 듀얼 에너지를 인가하는 전자빔 발생장치
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제1항에 있어서,상기 고주파 발생부는 상기 전자빔의 집속을 위한 자석부를 더 포함하는 전자빔 발생장치
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