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시료가 상면에 안착되고, 안착된 시료를 X축 및 Y축으로 이동시키고, 상기 시료를 회전시키는 스테이지(100);블레이드가 결합되고, 상기 스테이지(100) 일측에서 X축, Y축 및 Z축으로 이동되는 블레이드 지그(200);탐침이 결합되고, 상기 스테이지(100) 타측에서 X축, Y축 및 Z축으로 이동되는 탐침 지그(300); 및상기 스테이지(100) 상부에 배치된 현미경(400)을 포함하는 것을 특징으로 하는 미세시료 절단장치
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제1항에 있어서, 상기 스테이지(100)는 일측에 제1렉기어(111)가 형성된 스테이지베이스패널(110)과, 저면에 제2렉기어(121)가 배치되고 상기 스테이지베이스패널(110) 상부에 배치된 시료배치패널(120)과, 일측이 상기 제2렉기어(121)와 맞닿는 회전로드(130)와, 상기 회전로드(130)에 관통배치되고, 일측이 상기 제1렉기어(111)와 맞닿는 회전노브(140)를 포함하는 것을 특징으로 하는 미세시료 절단장치
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제2항에 있어서, 상기 스테이지베이스패널(110)의 상부에는 슬라이딩레일(113)이 배치되고, 상기 시료배치패널(120)의 하부에는 상기 슬라이딩레일(113)에 안착되어 슬라이딩되는 슬라이더(123)이 배치되는 것을 특징으로 하는 미세시료 절단장치
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제2항에 있어서, 상기 시료배치패널(120)의 상면에는 회전디스크(150)가 회전가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 미세시료 절단장치
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스테이지 상에 시료를 배치하고 중심점을 결정하는 S1단계;상기 S1단계에서 결정된 중심점을 기준으로 한 쌍의 제1절단선을 형성하는 S2단계;상기 S2단계에서 절단선이 형성된 시료를 회전시키는 S3단계;상기 S3단계에서 회전된 시료의 상기 중심점을 기준으로 한 쌍의 제2절단선을 형성하는 S4단계를 포함하며, 상기 S2단계와 S4단계에서 형성된 제1절단선과 제2절단선은 상호 연결되어 상기 시료로부터 분리가능한 시편을 형성하는 것을 특징으로 하는 미세시편 절단방법
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제6항에 있어서, 상기 S4단계에서 형성된 시편은 탐침을 이용하여 상기 시료로부터 분리하는 S5단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세시편 절단방법
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