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전자빔 조사를 위한 고진공을 유지하며, 타겟을 냉각시키는 수냉식 고진공 타겟트리에 있어서,상기 수냉식 고진공 타겟트리는내부에 냉각수를 유동시키는 유로부가 형성되며, 상기 유로부는 일측에 상기 냉각수가 반지름 방향으로 유입되도록 유입유로가 형성되고, 상기 유입유로와 연결되며, 원주방향으로 상기 냉각수를 회전시키도록 회전유로가 형성되고, 상기 회전유로와 연결되며, 타측에 상기 냉각수를 반지름 방향으로 배출시키는 배출유로가 형성되어, 상기 유입유로 및 상기 배출유로는 동일선상에 형성된 상판; 및상기 상판과 연결되며, 상기 타겟을 구비할 수 있는 타겟 홈이 형성된 하판;을 포함하는 수냉식 고진공 타겟트리
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제1항에 있어서,상기 유로부는 이송된 냉각수가 상기 타겟의 상판에 접촉하여 배출되도록 형성된 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리
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제1항에 있어서,상기 유로부는 상기 유입유로;상기 유입유로와 연결되어 상기 냉각수를 회전시키는 회전유로; 상기 회전유로와 연결된 배출유로;로 구성되며, 상기 유입유로와 배출유로가 이루는 각도는 30~60도를 이루는 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리
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제3항에 있어서,상기 회전유로는 "U"자 형상으로 구성된 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리
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제3항에 있어서,상기 회전유로는 상기 회전 유로를 따라 양측에 씰홈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리
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제5항에 있어서,상기 씰홈에 오링을 삽입하는 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리
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제6항에 있어서,상기 오링은 인듐 재질인 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리
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제1항에 있어서,상기 타겟은 텅스텐 재질인 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리
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제1항에 있어서,상기 고진공은 10-8토르 이상인 것을 특징으로 하는 수냉식 고진공 타겟트리
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전자빔을 발생시키는 가속관;타켓;상기 타켓을 수용하며, 냉각수를 유동시키는 유로부가 형성되며, 상기 유로부는 일측에 상기 냉각수가 반지름 방향으로 유입되도록 유입유로가 형성되고, 상기 유입유로와 연결되며, 원주방향으로 상기 냉각수를 회전시키도록 회전유로가 형성되고, 상기 회전유로와 연결되며, 타측에 상기 냉각수를 반지름 방향으로 배출시키는 배출유로가 형성되어, 상기 유입유로 및 상기 배출유로는 동일선상에 위치한 수냉식 고진공 타겟트리; 및상기 수냉식 고진공 타겟트리에서 방출된 상기 전자빔을 엑스레이로 변환시켜 대상체로 안내하는 콜리메이터부;상기 대상체를 통과한 상기 엑스레이를 검출하는 검출부;를 포함하는 검사장치
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제10항에 있어서,상기 수냉식 고진공 타겟트리는내부에 냉각수를 유동시키는 유로부가 형성된 상판; 및상기 상판과 연결되며, 상기 타겟을 구비할 수 있는 타겟 홈이 형성된 하판;을 더 포함하는 검사장치
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제11항에 있어서,상기 하판은 상기 가속관으로부터 상기 타겟까지 필요 진공을 형성하는 것을 특징으로 하는 검사장치
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제10항에 있어서,상기 유로부는 이송된 냉각수가 상기 타켓의 상판에 접촉하여 배출되도록 형성된 것을 특징으로 하는 검사장치
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제10항에 있어서,상기 유로부는 유입유로와, 상기 유입유로와 연결되어 상기 냉각수를 회전시키는 회전유로와, 상기 회전유로와 연결된 배출유로로 형성되는데, 상기 유입유로와 배출유로가 이루는 각도는 30~60도를 이루는 것을 특징으로 하는 검사장치
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제14항에 있어서,상기 타겟은 상기 회전유로에 유동되는 상기 냉각수와 접촉되어 상기 타겟을 냉각시키는 것을 특징으로 하는 검사장치
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제14항에 있어서,상기 회전유로는 "U"자 형상으로 구성된 것을 특징으로 하는 검사장치
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제14항에 있어서,상기 회전유로는 상기 회전유로를 따라 양측에 씰홈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사장치
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제17항에 있어서,상기 씰홈에 오링을 삽입하는 것을 특징으로 하는 검사장치
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