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금속 분말의 원재료인 금속 괴가 장입되는 반응용기;상기 반응용기의 둘레에 배치되어 상기 반응용기에 장입된 금속괴를 가열하는 히팅부;상기 반응용기와 연결된 매니폴드부;상기 매니폴드부의 일측에 연결되고, 상기 매니폴드부에 진공을 형성하여 상기 반응용기의 기체를 외부로 배출시키는 진공장치부;상기 매니폴드부의 타측에 연결되고, 상기 반응용기에 수소 또는 수소동위원소를 공급하는 수소 기체 공급부; 및상기 매니폴드부에 구비되어 상기 반응용기 내의 압력 및 온도를 측정하고, 전자계산기에 의해 상기 금속 괴의 흡장량 및 흡장속도를 산출하는 데이터 획득부;를 포함하여 구성되는 금속 분말 제조장치를 이용하고,금속 분말의 원재료인 금속 괴를 반응용기에 장입하는 단계;진공장치부로 상기 반응용기 내의 기체를 제거하고, 히팅부로 상기 금속 괴를 가열하는 단계;수소 기체 공급부로 상기 반응용기에 수소 또는 수소동위원소를 주입하는 단계;상기 수소 또는 수소동위원소가 흡장되어 상기 금속 괴가 파쇄되는 단계;상기 금속 괴가 파쇄되고난 후, 데이터 획득부로 상기 반응용기 내의 압력 및 온도를 측정하고, 상기 수소 또는 수소동위원소의 흡장률을 산출하는 단계;상기 기체 제거 및 가열 단계 내지 상기 흡장률 산출 단계를 반복하여 상기 흡장률의 변화를 산출하는 단계; 및상기 흡장률의 변화가 소정 값 이상인지 판단하여 상기 흡장률의 변화가 소정 값 이상인 경우 상기 기체 제거 및 가열 단계로 복귀하고, 상기 흡장률의 변화가 소정 값 미만인 경우 상기 금속 괴의 파쇄를 종료하여 금속 분말을 얻는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 데이터 획득부는 격막 게이지, 부르돈 게이지, 전기용량 압력 게이지, 열전도를 이용하는 피라니 게이지 중 어느 하나의 저진공용 게이지를 포함하여 상기 반응용기 내의 압력을 측정하는 것을 특징으로 하는 금속 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 데이터 획득부는 열음극형 이온화 게이지, 페닝 게이지, 트리거 게이지, 추출 게이지, 라페르티 게이지 및 헬머 게이지 중 어느 하나의 고진공용 게이지를 포함하는 것을 특징으로 하는 수소동위원소 흡장용 금속 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 데이터 획득부에서 산출된 상기 금속 괴의 흡장량 및 흡장속도에 기초하여 상기 히팅부, 진공장치부 및 상기 수소 기체 공급부의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 반응용기에 상기 금속 괴를 공급하는 금속 괴 공급부 및상기 반응용기로부터 상기 파쇄된 금속 분말을 공급받는 금속 분말 저장부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 분말 제조방법
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제6항에 있어서,상기 금속 분말 저장부에 저장된 상기 금속 분말을 메쉬 사이즈를 달리하는 다수의 체를 이용하여 크기별로 분류하는 금속 분말 분류부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 매니폴드부의 타측에 연결되고, 상기 반응용기에 헬륨, 네온, 아르곤을 포함한 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 히팅부는 상기 금속 괴의 가열 온도를 조절하는 온도 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 진공장치부는 터보분자 펌프, 분자드래그 펌프, 크리오 펌프, 게터 펌프, 티타늄승화 펌프 및 스퍼터이온 펌프 중 어느 하나의 고진공 펌프를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 분말 제조방법
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제10항에 있어서,상기 진공장치부는 회전베인 펌프, 회전피스톤 펌프, 스크류 펌프, 클로 펌프, 액체링 펌프, 피스톤 펌프, 다이아그램 펌프 중 어느 하나의 보조 펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속 괴 및 금속 분말은 리튬, 나트륨, 칼륨, 루비듐, 세슘, 프랑슘, 베릴륨, 마그네슘, 칼슘, 스트론튬, 바륨, 라듐, 스칸듐, 이트륨, 란타넘, 세륨, 프라세오디뮴, 네오디뮴, 프로메튬, 사마륨, 유로퓸, 가돌리늄, 터븀, 디스프로슘, 홀뮴, 어븀, 툴륨, 이터븀, 루테튬, 티타늄, 지르코늄, 하프늄, 러더포듐, 악티늄, 토륨, 프로탁티늄, 감손 우라늄, 천연 우라늄, 농축 우라늄, 넵투늄, 플루토늄, 아메리슘, 퀴륨, 버클륨, 캘리포늄, 아이슈타이늄, 페르뮴, 멘델레븀, 노벨륨, 로렌슘, 바나듐, 나이오븀, 탄탈럼 및 더브늄 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 금속 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 흡장률의 변화는 상기 최초 파쇄시 90%의 흡장률에 걸리는 시간과, 기체 제거 및 가열 단계 내지 흡장률 산출 단계를 반복한 이후의 파쇄시 90%의 흡장률에 걸리는 시간을 비교하는 것을 특징으로 하는 금속 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 금속 괴의 파쇄가 종료되면, 불활성 기체 공급부가 헬륨, 네온 및 아르곤을 포함하는 불활성 기체를 상기 금속 분말에 주입하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 분말 제조방법
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제17항에 있어서,상기 불활성 기체를 주입하는 단계 이후에, 상기 반응용기를 10-3 ~ 10-13 Torr의 진공 상태에서 400 ~ 900℃로 가열함으로써 상기 금속 분말 내에 잔류하는 수소 또는 수소동위원소를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 분말 제조방법
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제18항에 있어서,상기 수소 또는 수소동위원소를 제거하는 단계 이후에, 메쉬 크기가 다른 다수의 체를 이용하여 상기 금속 분말을 입자 크기별로 분류하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 분말 제조방법
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제18항에 있어서,상기 분류된 금속 분말에 1GBq 미만의 삼중수소를 첨가하여 상기 금속 분말의 잔류 수소량을 측정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속 분말 제조방법
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