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고에너지 레이저 시스템에서 콘덴서 뱅크(Capacitor Bank)에 인가되는 고전압에 의해 발광하는 방전램프의 이상을 감지하는 이상 감지 장치에 있어서,상기 콘덴서 뱅크(10)로 인가되는 고전압에 의해 발광하며 방전하는 방전램프(100);상기 콘덴서 뱅크(10)로 고전압을 인가하는 고전압 발생수단(200);트리거 신호(trigger)를 생성하여, 상기 방전램프(100)의 방전 동작을 제어하는 트리거 발생수단(300);상기 콘덴서 뱅크(10)의 전압을 측정하는 전압 감지부(400); 및상기 고전압 발생수단(200) 및 상기 트리거 발생수단(300)의 동작을 제어하며, 상기 전압 감지부(400)를 통해서 측정한 상기 콘덴서 뱅크(10)의 전압을 이용하여 상기 방전램프(100)의 이상 여부를 판단하는 신호처리 및 제어수단(500);를 포함하여 구성되며,상기 신호처리 및 제어수단(500)은상기 전압 감지부(400)에서 측정한 상기 방전램프(100)의 방전 동작 전의 상기 콘덴서 뱅크(10)의 전압과, 상기 방전램프(100)의 방전 동작 후의 상기 콘덴서 뱅크(10)의 전압차를 계산하여,상기 전압차가 기설정된 범위를 벗어날 경우,상기 방전램프(100)가 이상이 있는 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 고에너지 레이저 시스템에서 방전램프의 이상 감지 장치
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제 1항에 있어서,상기 고에너지 레이저 시스템에서 방전램프의 이상 감지 장치는상기 신호처리 및 제어수단(500)과 유선 또는 무선으로 연결되어 있는 입출력수단(600)을 더 포함하여 구성되며,상기 입출력수단(600)은외부로부터 상기 고전압 발생수단(200) 또는 상기 트리거 발생수단(300)의 동작 제어를 위한 입력 신호를 입력받아 상기 신호처리 및 제어수단(500)으로 전달하거나,상기 신호처리 및 제어수단(500)으로부터 전달받은 상기 전압차 또는, 상기 방전램프(100)의 이상 여부를 외부로 보여주는 것을 특징으로 하는 고에너지 레이저 시스템에서 방전램프의 이상 감지 장치
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고에너지 레이저 시스템에서 콘덴서 뱅크(Capacitor Bank)에 인가되는 고전압에 의해 발광하며 방전하는 방전램프의 이상을 감지하는 이상 감지 방법에 있어서,신호처리 및 제어수단에 의해 고전압 발생수단을 제어하여, 상기 콘덴서 뱅크로 고전압을 인가하는 고전압 인가 단계(S100);전압 감지부에 의해 상기 콘덴서 뱅크의 전압을 측정하는 제 1 전압 측정 단계(S200);상기 신호처리 및 제어수단에 의해 트리거 발생수단을 제어하여, 생성되는 트리거 신호(trigger)를 이용하여 상기 방전램프의 방전 동작을 수행하는 방전 단계(S300);상기 전압 감지부에 의해 상기 콘덴서 뱅크의 전압을 측정하는 제 2 전압 측정 단계(S400);상기 신호처리 및 제어수단에서 상기 제 1 전압 측정 단계(S200) 및 상기 제 2 전압 측정 단계(S400)에서 측정한 상기 방전램프의 방전 동작 전, 후의 상기 콘덴서 뱅크의 전압을 이용하여, 상기 콘덴서 뱅크의 전압차를 계산하는 전압차 계산 단계(S500); 및상기 신호처리 및 제어수단에서 상기 전압차 계산 단계(S500)에서 계산한 상기 방전램프의 방전 동작 전, 후의 상기 콘덴서 뱅크의 전압차를 이용하여,상기 전압차가 기설정된 범위를 벗어나는지 판단하여, 판단 결과에 따라, 상기 전압차가 기설정된 범위를 벗어날 경우, 상기 방전램프가 이상이 있는 것으로 판단하는 이상 감지 단계(S600);로 이루어지는 것을 특징으로 하는 고에너지 레이저 시스템에서 방전램프의 이상 감지 방법
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제 4항에 있어서,상기 고에너지 레이저 시스템에서 방전램프의 이상 감지 방법은상기 이상 감지 단계(S600)를 수행한 후,상기 제 1 전압 측정 단계(S200) 및 상기 제 2 전압 측정 단계(S400)에서 측정한 상기 콘덴서 뱅크의 전압값,상기 전압차 계산 단계(S500)에서 계산한 상기 방전램프의 방전 동작 전, 후의 상기 콘덴서 뱅크의 전압차 및상기 이상 감지 단계(S600)에서 판단한 상기 방전램프의 이상 여부를 외부로 전달하는 출력 단계(S700)를 더 수행하는 것을 특징으로 하는 고에너지 레이저 시스템에서 방전램프의 이상 감지 방법
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