요약 | 본 발명은 TE 쿨러(Thermoelectric cooler)를 이용해 모세관팁의 모세관 현상과 모세관 내 온도 차이를 이용해 모세관 팁과의 접착력을 향상시키고 불필요한 에폭시로 인한 플라즈마 생성 방해를 최소화 할 수 있는 고에너지 밀도 플라즈마 생성을 위한 중공 미세구 타겟 접착 방법에 관한 것으로, 양단이 개방되어 내부에 공간을 가지고, 일단에 모세관팁이 형성된 타겟홀더에 용융된 에폭시를 상기 모세관팁에 투입시키는 단계; 상기 모세관팁으로부터 노출된 에폭시에 중공 미세구 타겟을 부착시키는 단계; 및 상기 노출된 에폭시를 타겟홀더 내부로 유입시키는 단계를 포함한다. |
---|---|
Int. CL | C09J 5/00 (2006.01) |
CPC | C09J 5/00(2013.01) C09J 5/00(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020130101952 (2013.08.27) |
출원인 | 한국원자력연구원 |
등록번호/일자 | 10-1452934-0000 (2014.10.14) |
공개번호/일자 | |
공고번호/일자 | (20141022) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2013.08.27) |
심사청구항수 | 7 |