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확산 속도를 측정하고자 하는 플라즈마 플룸(10)을 발생시키는 플라즈마 발생부(100);상기 플라즈마 발생부(100)에서 발생된 플라즈마 플룸(10)을 조명하는 조명광원(200);상기 조명광원(200)에서 조사된 빛 중 플라즈마 플룸(10)을 투과한 빛을 포집하는 광섬유 배열(500); 및상기 광섬유 배열(500)의 타단과 연결되며, 광섬유 배열(500)을 통해 전달받은 광신호를 측정하는 측정부(600);를 포함하는 광섬유를 이용한 플라즈마 확산 속도 측정 장치
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제 1항에 있어서,상기 플라즈마 발생부(100)는레이저를 발생시키는 레이저 발생부(110), 상기 레이저 발생부(110)에서 발생된 레이저를 집속시키는 집속 광학부(120) 및 상기 집속 광학부(120)에 의해 집속된 레이저가 조사되는 표적(130)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 광섬유를 이용한 플라즈마 확산 속도 측정 장치
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제 1항에 있어서,상기 광섬유를 이용한 플라즈마 확산 속도 측정 장치는상기 조명광원(200)과 플라즈마 플룸(10) 사이에 구비되어 조명광원(200)에서 조사된 빛을 평행광으로 만들기 위한 평행 광학부(300)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 광섬유를 이용한 플라즈마 확산 속도 측정 장치
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제 3항에 있어서,상기 광섬유 배열(500)은일단면이 플라즈마 플룸(10)을 투과한 평행광과 수직이 되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 광섬유를 이용한 플라즈마 확산 속도 측정 장치
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제 1항에 있어서,상기 광섬유 배열(500)은플라즈마 플룸(10)의 확산 방향과 나란하게 일정 간격으로 배치되는 것을 특징으로 하는 광섬유를 이용한 플라즈마 확산 속도 측정 장치
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제 1항에 있어서,상기 광섬유를 이용한 플라즈마 확산 속도 측정 장치는상기 조명광원(200)이 단색조명광원이고, 플라즈마 플룸(10)과 광섬유 배열(500) 사이에는 플라즈마 플룸(10)을 투과한 빛을 제외한 주변광을 걸러내기 위한 단색투과필터(400)가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 광섬유를 이용한 플라즈마 확산 속도 측정 장치
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제 1항에 있어서,상기 측정부(600)는상기 광섬유 배열(500)의 타단에 구비되어 광섬유 배열(500)을 통해 전달받은 광신호를 전기신호로 변환하는 신호 변환부(610) 및 상기 전기신호를 측정하는 전기신호 측정부(620)로 구성되는 것을 특징으로 하는 광섬유를 이용한 플라즈마 확산 속도 측정 장치
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제 7항에 있어서,상기 신호 변환부(610)는광다이오드, 광저항기, 광도전체 및 광트랜지스터 중 선택되는 어느 하나 이상이 사용되는 것을 특징으로 하는 광섬유를 이용한 플라즈마 확산 속도 측정 장치
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확산 속도를 측정하고자 하는 플라즈마 플룸(10)을 발생시키는 플라즈마 발생 단계(S100);상기 발생된 플라즈마 플룸(10)에 빛을 조사하는 플라즈마 조사 단계(S200);상기 플라즈마 플룸(10)에 조사된 빛 중 플라즈마 플룸(10)을 투과한 빛을 광섬유 배열(500)로 포집하는 광신호 포집 단계(S300); 및상기 광섬유 배열(500)을 통해 전달받은 광신호를 측정하는 측정 단계(S400);를 포함하는 광섬유를 이용한 플라즈마 확산 속도 측정 방법
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제 9항에 있어서,상기 플라즈마 발생 단계(S100)는레이저를 집속 광학부(120)를 이용하여 집속하는 레이저 집속 단계(S110) 및상기 집속된 레이저를 플라즈마 플룸(10)을 발생시키고자 하는 표적(130)의 표면에 조사하는 레이저 조사 단계(S120)를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 광섬유를 이용한 플라즈마 확산 속도 측정 방법
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