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초내열합금의 에칭 방법 및 이에 따라 에칭된 초내열합금

  • 기술번호 : KST2015147887
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초내열합금의 에칭 방법 및 이에 따라 에칭된 초내열합금에 관한 것으로, 상세하게는 초내열합금 상에 고분자를 전면 코팅하고 열처리하는 단계(단계 1); 상기 전면 코팅된 고분자 중 에칭될 초내열합금 부분 상부의 고분자를 제거하는 단계(단계 2); 및 상기 단계 2가 수행된 초내열합금을 에칭 용액에 침지하는 단계(단계 3);을 포함하는 초내열합금의 에칭 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 초내열합금의 에칭 방법은, 종래 마스킹 방법을 사용하지 않고 고분자를 초내열합금 전면에 코팅 후 열처리하고, 에칭하고자 하는 부분만 제거하고 식각함으로써 언더컷 현상이 억제된다. 또한, 열처리 수행으로 인하여 고분자와 초내열합금 간의 접착력이 증대되므로 언더컷 현상을 억제할 수 있다. 따라서 에칭효율이 증대되며, 복잡한 형태의 에칭도 용이하게 수행할 수 있다. 나아가, 마스킹 단계를 거치지 않음으로써 공정 비용 및 시간이 절감되는 효과가 있다.
Int. CL C23C 30/00 (2006.01) C23F 1/26 (2006.01)
CPC C23F 1/26(2013.01) C23F 1/26(2013.01)
출원번호/일자 1020130164741 (2013.12.27)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-1539010-0000 (2015.07.17)
공개번호/일자 10-2015-0076495 (2015.07.07) 문서열기
공고번호/일자 (20150724) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.12.27)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박재원 대한민국 서울 노원구
2 김민환 대한민국 대전 유성구
3 홍성덕 대한민국 대전 서구
4 김용완 대한민국 대전 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이원희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2013.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2013-1193423-45
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.07.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0065272-98
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0030093-30
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2015-0256058-39
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.03.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0256057-94
8 등록결정서
Decision to grant
2015.07.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0474120-77
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번호 청구항
1 1
초내열합금 상에 고분자를 0
2 2
제1항에 있어서,상기 단계 1의 초내열합금은 니켈기 초내열합금인 것을 특징으로 하는 초내열합금의 에칭 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 단계 1의 고분자는 테플론(Teflon), 폴리프로필렌(PP: Polypropylene), 폴리프탈아미드(PPF: Polyphthalamide), 아크릴로나이트릭 부타디엔 스티렌(ABS: Acrylonitrile Butadien Styrene), 폴리카보네이트(PC: Polycarbonate), 폴리부틸렌 테레프탈레이트(PBT: Polybutylene Terephthalate), 페닐프로파놀라민(PPA: Phenylpropanolamine) 및 폴리카보네이트/아크릴로나이트릭 부타디엔 스티렌(PC/ABS: Polycarbonate/Acrylonitrile Butadien Styrene)로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 초내열합금의 에칭 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 단계 1의 고분자 코팅은 스프레이 코팅, 플라즈마 용사 코팅 및 도장 방법으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종의 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 초내열합금의 에칭 방법
5 5
삭제
6 6
삭제
7 7
제1항에 있어서,상기 단계 3의 에칭 용액은 강산인 것을 특징으로 하는 초내열합금의 에칭 방법
8 8
제1항에 있어서,상기 단계 3의 에칭 용액은 50%이상의 질산(HNO3), 염산(HCl), 황산(H2SO4), 과산화염산(HClO4), 왕수(aqua regia, HNO3:HCl=1:3), 역왕수(HNO3:HCl=3:1) 및 왕수에 물을 희석시킨 희왕수로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 초내열합금의 에칭 방법
9 9
제1항에 있어서,상기 단계 3의 에칭 용액에의 침지는 에칭 용액을 1 내지 20 rpm의 속도로 교반하며 수행되는 것을 특징으로 하는 초내열합금의 에칭 방법
10 10
제1항에 있어서,상기 단계 3의 에칭 용액에의 침지는 60 내지 100 ℃의 온도범위에서 수행되는 것을 특징으로 하는 초내열합금의 에칭 방법
11 11
제1항에 있어서,상기 단계 3의 에칭 용액에의 침지는 5분 내지 20 시간 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 초내열합금의 에칭 방법
12 12
제1항에 있어서,상기 단계 3의 에칭 수행 후, 고분자를 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초내열합금의 에칭 방법
13 13
제12항에 있어서,상기 고분자의 제거는 아세톤, 에탄올, 글리세린 포름산 용액, 구아검 및 플루오르수소산으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상의 용매를 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 초내열합금의 에칭 방법
14 14
제1항의 에칭 방법에 따라 에칭된 초내열합금
15 15
제14항의 초내열합금을 포함하는 열교환기
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 GB2528731 GB 영국 DOCDBFAMILY
2 GB2528731 GB 영국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국원자력연구원 원자력연구개발사업 초고온가스로 요소기술개발