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전압제어신호, 전류제어신호, 전압모니터 신호, 전류모니터 신호 및 기준전압발생기의 기준전압 중 어느 하나 이상의 신호를 선택할 수 있는 아날로그 스위치;상기 아날로그 스위치에 의해 선택된 신호를 입력받아 디지털 신호로 변환하는 A/D 변환기;상기 디지털 신호와 설정된 데이터의 일치여부에 따라 A/D 변환기의 레퍼런스 전압을 조정하는 제1 D/A 변환기;상기 전압제어신호를 출력하는 제2 D/A 변환기;상기 제2 D/A 변환기로부터 출력된 전압제어신호를 설정된 전압제어신호에 상응하는 데이터와 일치하도록 제2 D/A 변환기의 레퍼런스 전압을 조정하는 제3 D/A 변환기;상기 전류제어신호를 출력하는 제4 D/A 변환기;상기 제4 D/A 변환기로부터 출력된 전류제어신호를 설정된 전류제어신호에 상응하는 데이터와 일치하도록 제4 D/A 변환기의 레퍼런스 전압을 조정하는 제5 D/A 변환기;상기 제1 D/A 변환기, 제3 D/A 변환기 및 제5 D/A 변환기에 레퍼런스 전압을 인가하고 상기 아날로그 스위치를 통해 A/D 변환기에 기준전압을 인가하는 기준전압발생기; 및제어컴퓨터로부터 명령신호를 해독하여 상기 아날로그 스위치, A/D 변환기, 제1 내지 제5 D/A 변환기를 제어하는 마이크로 프로세서를 포함하는 고주파전자가속기의 필라멘트 전원장치 제어회로
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청구항 1에 있어서,상기 제2 D/A 변환기에서 출력되는 전압제어신호를 증폭하는 제1 증폭기 및, 상기 제4 D/A 변환기에서 출력되는 전류제어신호를 증폭하는 제2 증폭기를 더 포함하는 고주파전자가속기의 필라멘트 전원장치 제어회로
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(a) A/D 변환기로부터 출력된 기준전압의 디지털 신호가 설정된 기준전압에 상응하는 데이터와 일치하도록 A/D 변환기의 레퍼런스 전압을 조정하는 단계와,(b) 상기 A/D 변환기에 의해 변환된 전압제어출력의 디지털 신호가 설정된 전압제어출력의 데이터와 일치하도록 전압제어출력을 조정하는 단계와,(c) 상기 A/D 변환기에 의해 변환된 전류제어출력의 디지털 신호가 설정된 전류제어출력의 데이터와 일치하도록 전류제어출력을 조정하는 단계를 포함하는 고주파전자가속기의 필라멘트 전원장치 제어방법
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청구항 3에 있어서,상기 단계 (a)는,(ⅰ) 아날로그 스위치가 기준전압발생기의 기준전압을 선택하는 단계와,(ⅱ) A/D 변환기가 상기 기준전압발생기의 기준전압을 입력받아 디지털 신호로 출력하는 단계와,(ⅲ) 상기 출력된 기준전압의 디지털 신호와 설정된 기준전압에 상응하는 데이터가 일치하는지 비교하는 단계와,(ⅳ) 비교결과 일치하지 않으면 제1 D/A변환기를 제어함으로써 A/D 변환기의 레퍼런스 전압을 조정하여 일치시키고, 비교결과 일치하면 상기 단계 (b)를 진행하는 고주파전자가속기의 필라멘트 전원장치 제어방법
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청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,상기 단계 (b)는,(ⅰ) 아날로그 스위치가 전압제어신호를 선택하는 단계와, (ⅱ) 상기 전압제어신호가 선택되면 제2 D/A 변환기의 출력을 설정하는 단계와,(ⅲ) 상기 제2 D/A 변환기를 통해 설정된 전압제어신호를 출력시키고 A/D 변환기가 상기 전압제어신호의 디지털 신호를 출력하는 단계와,(ⅳ) 상기 출력된 전압제어신호의 디지털 신호가 설정된 전압제어신호에 상응하는 데이터와 일치하는지 비교하는 단계와,(ⅴ) 비교결과 일치하지 않으면 제3 D/A변환기를 제어함으로써 상기 제2 D/A 변환기의 레퍼런스 전압을 조정하여 일치시키고, 비교결과 일치하면 상기 단계 (c)를 진행하는 고주파전자가속기의 필라멘트 전원장치 제어방법
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청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,상기 단계 (c)는,(ⅰ) 아날로그 스위치가 전류제어신호를 선택하는 단계와,(ⅱ) 상기 전류제어신호가 선택되면 제4 D/A 변환기의 출력을 설정하는 단계와,(ⅲ) 상기 제4 D/A 변환기를 통해 설정된 전류제어신호를 출력시키고 A/D 변환기가 상기 전류제어신호의 디지털 신호를 출력하는 단계와,(ⅳ) 상기 출력된 전류제어신호의 디지털 신호가 설정된 전류제어신호에 상응하는 데이터와 일치하는지 비교하는 단계와,(ⅴ) 비교결과 일치하지 않으면 제5 D/A변환기를 제어함으로써 상기 제4 D/A 변환기의 레퍼런스 전압을 조정하여 일치시키고, 비교결과 일치하면 조정을 완료하는 고주파전자가속기의 필라멘트 전원장치 제어방법
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