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소정의 높이의 측벽과 제 1 조명 장치를 구비한 베이스;상기 베이스와 연결되어 측정 대상인 화합물 반도체를 수용하는 3축 제어 스테이지;현미경의 배율을 조절하는 노즈피스가 연결되도록 상기 베이스 측벽 상단으로부터 연장 형성된 노즈피스부;상기 노즈피스부 상단에 형성되어 제 2 조명장치를 고정하는 고정수단;상기 고정수단 상단에 형성되며, 두 대의 카메라 및 관찰용 접안렌즈가 연결되는 더블포트; 및상기 노즈피스 및 상기 3축 제어 스테이지를 제어하는 구동부를 포함하는 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 카메라 및 상기 구동부와 전기적으로 연결되어, 상기 카메라에서 촬영된 상기 화합물 반도체의 표면 및 내부를 3D영상으로 형성하며, 상기 구동부를 제어하는 제어부; 및상기 제어부에서 형성된 상기 3D영상을 디스플레이하는 디스플레이부를 더 포함하는 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 베이스는, 상기 제 1조명에서 형성된 투과 조명을 상기 3축 제어 스테이지 방향으로 조사되도록 하는 편광자를 포함하는 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 두 대의 카메라는, 화합물 반도체의 표면을 촬영하는 관찰용 카메라 및 상기 화합물 반도체의 내부를 촬영하는 적외선 카메라인 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 제 1 조명 장치는, 상기 베이스의 하단에 형성되는 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 제 1 조명 장치는,상기 베이스의 하단 후면에 형성되어 적외선 카메라에서 이용되는 투과 조명을 발생시키는 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 제 2 조명장치는, 상기 고정수단 일측에 연결되어 상기 관찰용 카메라에서 이용되는 반사조명을 발생시키는 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 3축 제어 스테이지는 상기 구동부의 명령을 기초로 x축, y축, z축으로 이송되는 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 3축 제어 스테이지는, 상기 베이스 측면에 형성된 조동 나사를 이용하여 상하로 이동하는 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 더블 포트는, 상기 두 대의 카메라로 각각 광경로를 나누는 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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제 4항에 있어서, 상기 관찰용 카메라는 가시광선을 기초로 상기 화합물 반도체의 표면을 촬영하는 적외선 카메라인 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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제 4항에 있어서,상기 적외선 카메라는 적외선을 기초로 상기 화합물 반도체의 내부를 촬영하는 적외선 카메라인 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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제 2항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 카메라에서 촬영된 화합물 반도체의 불순물 분포 영상을 3D로 형성하는 3D 형성 모듈 및; 상기 구동부와 전기적으로 연결되어 상기 3축 제어 스테이지 및 상기 노즈피스 중 적어도 하나를 사용자 명령에 따라 작동시키는 구동 제어 모듈를 포함하는 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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제 1항에 있어서, 상기 화합물 반도체는 방사선 검출용 반도체 센서인 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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3축 제어 스테이지에 화합물 반도체를 위치시키는 단계;상기 3축 제어 스테이지 및 노즈피스를 이용하여 배율 및 초점을 조절하는 단계;상기 화합물 반도체의 표면을 관찰용 카메라를 이용하여 촬영하는 단계;상기 화합물 반도체의 내부를 적외선 카메라를 이용하여 촬영하는 단계; 및상기 촬영된 상기 화합물 반도체의 표면 및 내부를 3D영상으로 디스플레이 하는 단계를 포함하는 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 방법
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제 15항에 있어서, 상기 적외선 카메라를 이용하여 촬영하는 단계는,상기 화합물 반도체로 조사되는 적외선이 상기 화합물 반도체의 불순물이 있는 영역에서 회절되며, 불순물이 없는 영역에서 투과되는 성질을 이용하여 반도체 내부를 촬영하는 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 방법
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제 15항에 있어서, 상기 3축 제어 스테이지는 상기 구동부의 명령을 기초로 x축, y축, z축으로 이송되는 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 방법
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제 15항에 있어서, 상기 관찰용 카메라는, 가시광선을 기초로 상기 화합물 반도체의 표면을 촬영하는 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 방법
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제 15항에 있어서,상기 적외선 카메라는, 적외선을 기초로 상기 화합물 반도체의 내부를 촬영하는 적외선 카메라를 이용한 화합물 반도체의 불순물 측정 방법
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적외선을 이용하는 적외선 카메라 및 가시광선을 이용하는 관찰용 카메라를 기초로 반도체 화합물의 표면 및 내부를 촬영하는 카메라부;상기 적외선 카메라에서 이용되는 투과 조명 및 상기 관찰용 카메라에서 이용되는 반사조명을 형성하는 조명부; 및상기 반도체 화합물의 불순물을 관찰하기 위해 노즈피스 및 3축 제어 스테이지를 구비한 작동부;를 포함하는 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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21
제 20항에 있어서, 상기 작동부를 제어하며, 상기 촬영된 반도체 화합물의 표면 및 내부를 3D영상으로 형성하는 제어부; 및 상기 제어부에서 형성된 3D영상을 디스플레이하는 디스플레이부를 더 포함하는 화합물 반도체의 불순물 측정 장치
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