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| 요약 |
스핀 온 글래스 공정 중, 소프트 베이크를 위한 베이크 플레이트의 공정 진행 방법에 관하여 개시한다. 베이크 공정을 진행하기 전에 베이크 온도를 순차적으로 상승시키기 위하여 배열된 복수 개의 각각의 그룹 내의 베이크 플레이트의 정상 동작 여부를 판단한다. 이어서, 상기 복수 개의 그룹 중 임의의 한 그룹 내에서 비정상적으로 동작하는 베이크 플레이트가 존재하는 경우, 다른 그룹 내의 동일 베이크 단계의 정상 동작 베이크 플레이트를 선택하여 상기 비정상 동작 베이크 플레이트를 대체하여 연속적인 베이크 공정을 진행한다. 동일 그룹의 베이크 플레이트 중에 비정상적으로 동작하는 베이크 플레이트가 존재하는 경우 이를 정상적으로 동작하는 다른 그룹 내의 동일한 공정 진행 조건을 갖는 베이크 플레이트로 대체하여 반도체 제조 공정의 효율이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
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| Int. CL |
G01H 5/00 (2006.01.01) G01H 9/00 (2006.01.01) G01P 5/24 (2006.01.01)
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| CPC |
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| 출원번호/일자 |
1019980005559
(1998.02.23)
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| 출원인 |
한국전력공사, 한국원자력연구원
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| 등록번호/일자 |
10-0264102-0000
(2000.05.25)
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| 공개번호/일자 |
10-1999-0070609
(1999.09.15)
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| 공고번호/일자 |
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| 국제출원번호/일자 |
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| 국제공개번호/일자 |
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| 우선권정보 |
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| 법적상태 |
소멸 |
| 심사진행상태 |
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| 심판사항 |
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| 구분 |
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| 원출원번호/일자 |
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| 관련 출원번호 |
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| 심사청구여부/일자 |
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| 심사청구항수 |
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