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냉각수의 유출을 위한 플랜지(flange)를 제공하는 단계;
상기 플랜지에 외관의 단부를 1차 브레이징(brazing)하여 접합하는 단계;
상기 플랜지를 관통하여 상기 외관 내부로 내관을 수용하되, 상기 외관의 단부에서 상기 내관의 일부가 노출되도록 수용시키는 단계;
상기 노출된 내관의 단부에 플라즈마와 접촉되는 프로브 팁을 접합하는 단계;
상기 프로브 팁 및 상기 내관의 일부를 수용하는 절연튜브를 제공하는 단계;
상기 프로브 팁과 상기 절연튜브 및 상기 절연튜브와 상기 외관을 2차 브레이징하여 접합하는 단계; 및
상기 플랜지에 상기 내관에 냉각수를 공급하기 위한 급수 하우징을 제공하는 단계;
를 포함하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리의 제작방법
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2
제1항에 있어서,
상기 1차 브레이징 단계는 850 내지 950 ℃ 온도와 10-4 내지 10-5 torr압력에서 진공 브레이징하는 것을 특징으로 하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리의 제작방법
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3
제1항에 있어서,
상기 2차 브레이징 단계는 750 내지 850 ℃ 온도와 10-4 내지 10-5 torr압력에서 진공 브레이징하는 것을 특징으로 하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리의 제작방법
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4
제1항에 있어서,
상기 외관과 상기 절연튜브는 일정 길이 겹치기 접합(lab joint)하는 것을 특징으로 하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리의 제작방법
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5
제1항에 있어서,
상기 내관과 상기 외관은 스테인리스스틸 강 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리의 제작방법
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6
제1항에 있어서,
상기 절연튜브는 세라믹 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리의 제작방법
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7
제1항에 있어서,
상기 프로브 팁은 몰리브덴(Mo) 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리의 제작방법
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8
제1항에 있어서,
상기 프로브 팁과 상기 내관은 용접에 의해 접합되는 것을 특징으로 하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리의 제작방법
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9
제1항에 있어서,
상기 급수 하우징은 스테인리스스틸 강 또는 MC-나일론(monomer cast nylon) 재질로 형성된 것을 특징으로 하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리의 제작방법
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10
플라즈마 내로 삽입되어 플라즈마 변수를 측정하는 프로브 팁;
단부에 상기 프로브 팁이 장착되고, 상기 프로브 팁의 냉각을 위한 냉각수의 유동이 가능하도록 내관과 외관이 동심축 상에 결합된 이중관 형태로 형성된 프로브 파트; 및
상기 프로브 파트에서 유출되는 냉각수를 유출시키도록 상기 프로브 파트 일단에 결합된 플랜지와 상기 플랜지에 장착되며 상기 내관 내부로 냉각수를 공급 가능하도록 상기 내관과 연결된 급수 하우징을 포함하는 하우징 파트;
를 포함하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리
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11
제10항에 있어서,
상기 프로브 파트는,
상기 프로브 팁과 전기적으로 연결되고 내부로 냉각수가 유동되고, 상기 플랜지를 관통하여 상기 급수 하우징까지 연장 형성된 내관;
상기 내관을 일부 수용하여 상기 내관과 이격된 사이로 냉각수의 유동이 가능하도록 형성되고, 일단이 상기 플랜지에 결합된 외관;
상기 외관에 수용되지 않은 상기 내관 및 상기 프로브 팁을 수용하며 상기 외관을 상기 내관 및 상기 프로브 팁과 절연시키는 제1 절연튜브; 및
상기 외관이 상기 플랜지와 결합되는 부분에서 상기 내관과 상기 외관 사이에 개재되며 상기 내관과 상기 외관을 절연시키는 제2 절연튜브;
를 포함하는 것을 특징으로 하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리
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12
제11항에 있어서,
상기 프로브 팁과 상기 제1 절연튜브 사이에는 상기 프로브 팁을 둘러싸도록 구비된 절연 재질로 형성된 스페이서가 구비된 것을 특징으로 하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리
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13
제10항에 있어서,
상기 내관은 상기 플랜지를 관통하여 상기 급수 하우징 내부를 통해 외부까지 연장되도록 벤딩된 벤딩부가 형성된 것을 특징으로 하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리
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14
제10항에 있어서,
상기 프로브 팁과 상기 내관 사이에는 상기 프로브 팁과 상기 내관을 전기적으로 연결하고 물리적으로 결합시키며, 상기 내관의 단부를 폐쇄하도록 캡 형태의 연결블록이 더 구비된 것을 특징으로 하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리
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15
제10항에 있어서,
상기 내관에서 상기 프로브 팁과 연결된 부분과 인접한 부분에는 상기 내관 내부의 냉각수를 상기 외관으로 유출시키는 냉각수홀이 형성된 것을 특징으로 하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리
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16
제10항에 있어서,
상기 급수 하우징에는 상기 프로브 팁에서 측정된 전기신호를 검출하는 신호 커넥터가 구비되고,
상기 신호 커넥터는 상기 급수 하우징 내부에서 상기 내관과 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리
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17
플라즈마 내로 삽입되어 플라즈마 변수를 측정하는 프로브 팁;
일 단부에는 상기 프로브 팁이 장착되고, 상기 프로브 팁과 전기적으로 연결되고 내부로 냉각수가 유동되는 내관과 상기 내관을 일부 수용하여 상기 내관과 이격된 사이로 냉각수의 유동이 가능하도록 형성된 외관이 동심축으로 결합된 이중관으로 형성되며, 상기 프로브 팁과 상기 내관 일부를 수용하는 절연튜브를 포함하는 프로브 파트; 및
상기 프로브 파트에서 유출되는 냉각수를 유출시키도록 상기 외관과 결합된 플랜지와 상기 내관 내부로 냉각수를 공급 가능하도록 상기 내관과 연결된 급수 하우징을 포함하는 하우징 파트;
를 포함하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리
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18
제17항에 있어서,
상기 내관은 상기 플랜지를 관통하여 상기 급수 하우징까지 연장 형성되며, 상기 급수 하우징으로 연장된 상기 내관 외측에는 절연 재질로 형성된 절연관이 더 구비된 것을 특징으로 하는 수냉식 정전 프로브 어셈블리
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