| 1 |
1
육불화황(SF6) 및 수소(H2)가 유입되는 육불화황분해챔버;상기 육불화황분해챔버에 유입된 육불화황 및 수소에 전자빔을 조사하는 전자빔 조사장치;전자빔 조사에 의하여 불화수소(HF(v)) 및 황(S(s))으로 분해되어 상기 육불화황분해챔버에서 유출되는 불화수소 및 황의 혼합물에서 황을 회수하는 황 회수부;상기 황 회수부에서 유출되는 불화수소를 응축시켜 액체 상태의 불화수소로 회수하는 액체 불화수소 회수부;상기 육불화황분해챔버, 황 회수부 및 액체 불화수소 회수부를 각각 연결하여 불화수소 또는 황을 유통시키는 배관; 및상기 황 회수부 및 배관을 불화수소의 응축 온도 이상으로 유지시키기 위한 가열수단;을 포함하여 이루어지는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
| 2 |
2
육불화황(SF6) 및 수소(H2)가 유입되는 육불화황분해챔버;상기 육불화황분해챔버에 유입된 육불화황 및 수소에 전자빔을 조사하는 전자빔 조사장치;전자빔 조사에 의하여 불화수소(HF(v)) 및 황(S(s))으로 분해되어 상기 육불화황분해챔버에서 유출되는 불화수소 및 황의 혼합물에서 황을 회수하는 황 회수부;상기 황 회수부에서 유출되는 불화수소를 금속 또는 비금속 이온 수용액 내로 버블링하여 투입하며, 상기 금속 또는 비금속 이온과 반응하여 생성되는 불소염 형태로 회수하는 불소염 회수부;상기 육불화황분해챔버, 황 회수부 및 불소염 회수부를 각각 연결하여 불화수소 또는 황을 유통시키는 배관; 및상기 황 회수부 및 배관을 불화수소의 응축 온도 이상으로 유지시키기 위한 가열수단;을 포함하여 이루어지는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
| 3 |
3
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 육불화황분해챔버는,일측에 전자빔을 통과시키는 윈도우가 형성되며, 상기 전자빔 조사장치에서 발생된 전자빔이 상기 윈도우를 통과하여 상기 육불화황분해챔버 내부로 조사되도록 하는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
| 4 |
4
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 육불화황 처리장치는,상기 육불화황분해챔버의 외면에 구비되며, 상기 육불화황분해챔버의 온도를 낮추기 위한 육불화황분해챔버 냉각장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
| 5 |
5
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 황 회수부는,원심력을 이용하여 황 입자를 회수하는 싸이클론인 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
| 6 |
6
삭제
|
| 7 |
7
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 황 회수부 및 배관은,불화수소에 의한 부식 방지를 위해 내부가 폴리에틸렌(PE) 또는 테프론으로 코팅되는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
| 8 |
8
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 육불화황 처리장치는,육불화황과 수소를 혼합하여 상기 육불화황분해챔버로 유입되도록 하는 가스혼합기;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 육불화황 처리장치
|
| 9 |
9
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 육불화황 처리장치는,상기 육불화황분해챔버로의 유입 경로상에 구비되며, 다른 화합물이 유입되지 않도록 하는 필터장치;를 더 포함하는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
| 10 |
10
제 1항에 있어서,상기 액체 불화수소 회수부는,유입되는 불화수소를 응축시켜 액체 상태로 만드는 냉각수단, 및상기 냉각수단에 의해 응축된 고순도 액체 불화수소가 채워지는 액체 불화수소 저장용기,를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
| 11 |
11
제 1항에 있어서,상기 육불화황 처리장치는,상기 액체 불화수소 회수부에서 응축되지 않고 남은 기체를 회수하는 제 1 회수라인,을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
| 12 |
12
제 11항에 있어서,상기 제 1회수라인은,상기 육불화황분해챔버의 유입 경로 상에 연결되어 회수한 기체를 상기 육불화황분해챔버로 재유입시키는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
| 13 |
13
제 2항에 있어서,상기 불소염 회수부는,유입되는 불화수소를 금속 또는 비금속 이온 수용액 내에 미세기포 형태로 버블링하여 투입시키는 버블링장치, 및상기 금속 또는 비금속 이온 수용액이 채워져 있으며, 상기 미세기포 형태로 투입된 불화수소와 금속 또는 비금속 이온이 반응하여 불소염이 생성되는 반응용기,를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
| 14 |
14
제 13항에 있어서,상기 금속 또는 비금속 이온 수용액은,CaCl2, CaO, Ca(OH)2 중 선택되는 어느 하나의 물질을 용해시킨 수용액인 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
| 15 |
15
제 2항에 있어서,상기 육불화황 처리장치는,상기 불소염 회수부에서 상기 금속 또는 비금속 이온 수용액에 용해되지 않고 남은 기체를 회수하는 제 2회수라인,을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
| 16 |
16
제 15항에 있어서,상기 제 2회수라인은,상기 육불화황분해챔버의 유입 경로 상에 연결되어 회수한 기체를 상기 육불화황분해챔버로 재유입시키는 것을 특징으로 하는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
| 17 |
17
제 1항에 있어서,상기 육불화황 처리장치는,연속공정이 가능하도록 복수개의 황 회수부 및 액체 불화수소 회수부를 구비하는 것을 특징을 갖는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
| 18 |
18
제 2항에 있어서,상기 육불화황 처리장치는,연속공정이 가능하도록 복수개의 황 회수부 및 불소염 회수부를 구비하는 것을 특징을 갖는 전자빔을 이용한 육불화황 처리장치
|
