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펄스 레이저로 측정 대상체에 초음파를 발생시키고 이 초음파가 측정 대상체를 전파한 후 연속발진 레이저를 사용한 공초점 간섭계로 감지하여 물체의 결함이나 상태를 검사하는 레이저 초음파 장치에 있어서,측정 대상체(50)의 일측 위치(S)로 레이저빔을 조사하기 위한 초음파 여기용 펄스 레이저(21)와, 이로 부터 발생된 빔을 차단 또는 통과시키는 셔터(22)와, 이 셔터를 거친 레이저빔의 세기를 조절하는 중성농도 필터(Neutral density filter)(23)와, 중성농도필터를 거친 레이저빔의 입사각도를 변환시키는 거울(24, 25) 및 거울을 지난 레이저빔을 집속하는 집속렌즈(26)로 구성되는 펄스 레이저를 이용한 초음파 여기장치와; 이 집속된 레이저빔에 의해 여기되어 측정대상체의 표면을 따라 타측 위치(T)에 전파된 초음파를 수신하는 간섭계로 구성하되, 이 간섭계는 레이저를 조사하는 연속발진 레이저 장치(31)와, 이 레이저빔을 선평광시키는 편광자(32)와, 선편광된 빔을 반사시키는 거울(33)과 편광을 회전시키는 반파장판(34)과, 상기 반파장판을 거친 빔을 반사시키는 편광 빔가르개(35)와, 이 빔가르개에서 반사된 빔의 편광상태를 바꾸는 1/4 파장판(36)과, 1/4 파장판을 거친 빔을 측정 대상체(50)의 타측 위치(T)에 입사시키는 집속렌즈(37)와, 물체에서 반사된 빔이 다시 집속렌즈(37)와 1/4 파장판(36)을 거친 후 편광이 90도 회전하여 빔가르개(35)를 통과하여 입사되는 편광 빔가르개(39)와, 편광빔가르개를 통과한 빔을 원편광시키는 1/4 파장판(41)과, 이 1/4파장판(41)을 거쳐서 원 편광된 빔을 집속하는 집속렌즈(42)와, 집속렌즈(42)로 부터 집속된 빔을 입사받는 공초점 패브리-페롯 간섭계(43)와, 이 공초점 간섭계의 양 끝 거울의 거리를 조절하는 PZT(45) 및 이와 연결된 특정한 주기로 삼각형 PZT 전압 신호를 내보내는 PZT 드라이버(48)와, 공초점 간섭계를 투과한 빔을 집속하는 집속렌즈(44)와, 집속된 빔을 중계하는 중계렌즈(46)와, 중계렌즈를 거친 빔을 수신하는 고속 광센서(47)와, 상기 고속 광센서(47)에서 수신된 빔의 신호와, 공초점 간섭계에서 반사된 빔이 다시 집속렌즈(42)와 1/4 파장판(41)을 거쳐 편광이 90도 회전되고 편광빔가르개(39)에서 반사되어 또 다른 고속 광센서(40)로 수신된 빔의 신호를 획득하여 결함이나 두께 등을 측정 처리하는 신호획득 제어장치(49)로 구성된 것을 특징으로 하는 레이저 초음파 검사장치에서 적응형 간섭계의 신호획득장치
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