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탄화규소(SiC), 탄화텅스텐(WC), 이산화규소(SiO2), 이산화티타늄(TiO2) 및 산화알루미늄(Al2O3)을 포함하는 군으로부터 선택되는 코팅소스소재를 기상증착방법을 통해 기판 상에 증착시켜 밀도가 감소된 코팅소스소재를 얻는 단계(단계 1); 및상기 단계 1에서 얻어진 밀도가 감소된 코팅소스소재가, 1 × 10-7 Torr ~ 1 × 10-4 Torr범위의 진공으로 유지되는 700 ℃ ~ 1000 ℃의 온도인 진공 챔버 내부에 장입 및 가열됨으로써 승화되어, 모재에 도달함으로써 모재가 코팅되는 단계(단계 2);를 포함하는 모재의 내부 표면 코팅방법
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제 1항에 있어서, 상기 기상증착방법은 물리적 기상 증착방법(PVD) 또는 화학적 기상 증착방법(CVD)인 것을 특징으로 하는 모재의 내부 표면 코팅방법
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제 3항에 있어서, 상기 물리적 기상 증착방법은 스퍼터링(sputtering), 전자빔 증착법, 열증착법, 레이저분자빔증착법 및 펄스레이저증착법을 포함하는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 모재의 내부 표면 코팅방법
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제 3항에 있어서, 상기 화학적 기상 증착방법은 유기금속화학증착법(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition, MOCVD), 수소기상증착법(Hydride Vapor Phase Epitaxy, HVPE) 및 플라즈마향상화학기상증착법(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition, PECVD)을 포함하는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 모재의 내부 표면 코팅방법
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제 4항에 있어서, 상기 물리적 기상 증착은 전자빔 증착법에 의하여 수행되고, 전자빔 조사 에너지는 1 keV ~ 30 keV 이고 전자빔 전류는 10 mA ~ 500 mA로 조절되는 것을 특징으로 하는 모재의 내부 표면 코팅방법
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제 1항에 있어서, 상기 기상증착방법에 사용되는 기판은 Alloy 800H, Alloy 690, Hastelloy X, Hayness230, Hayness556, CX2002U 복합재료, Alloy X750, Alloy 718, Sanicro28 및 스테인레스 스틸로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 모재의 내부 표면 코팅방법
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제 1항에 있어서, 상기 단계 1에서 밀도가 감소된 코팅소스소재는 원밀도보다 20 ~ 40 % 감소한 것을 특징으로 하는 모재의 내부 표면 코팅방법
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제 1항에 있어서, 상기 단계 2의 승화는 온도 및 진공도에 의하여 조절되는 것을 특징으로 하는 모재의 내부 표면 코팅방법
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제 1항의 방법으로 코팅되는 것을 특징으로 하는 내부가 코팅된 모재
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