입자 가속기와 타겟 사이에 연결된 이온빔 이송로상에 장착되어 상기 입자 가속기로부터 발생되는 이온빔의 여러 상태를 측정하기 위한 이온빔 진단 장치에 있어서:

상기 이온빔 이송로의 어느 한 위치에 장착되는 연결관;

상기 연결관의 주변으로 이온빔의 진행 방향에 수직되는 동일 위치에 장착되는 다수의 연결 가지관;

상기 다수의 연결 가지관에 각기 연결되어 상기 이온빔 이송로를 통해 진행하는 이온빔의 상태를 측정하는 다수의 이온빔 측정기를 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 이온빔 진단 장치

제1 항에 있어서,

상기 다수의 이온빔 측정기는

이온빔을 시각에 의해 관측하기 위한 이온빔 윈도우, 이온빔의 단면을 측정하기 위한 이온빔 단면 측정기, 이온빔의 위상을 측정하기 위한 이온빔 위상 측정기 및, 이온빔의 세기를 측정하기 위한 이온빔 세기 측정기를 포함하는 것을 특징으로 하는 다기능 이온빔 진단 장치

제1 항에 있어서,

상기 다수의 이온빔 측정기는 이온빔의 측정을 위한 측정봉을 구비하고,

상기 이온빔 측정기는 상기 연결 가지관의 내측에 자신의 측정봉을 위치하고 있다가 자신의 이온빔 측정 동작이 개시되면 상기 이온빔 이송로 내부로 자신의 측정봉을 진입시키는 것을 특징으로 하는 다기능 이온빔 진단 장치