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전자빔 및 수소 가스를 이용한 과불소화 화합물 가스 처리 장치

  • 기술번호 : KST2015148376
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 명세서는, 과불소화 화합물 가스를 2차 오염물질(SOx, NOx) 등의 발생없이 효율적으로 처리할 수 있는 전자빔 및 수소 가스를 이용한 PFCs(Perfluorinated compounds) 가스 처리 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 본 명세서의 실시예에 따른 전자빔 및 수소 가스를 이용한 PFCs 가스 처리 장치는, 질소 가스를 공급하는 질소 가스 공급부와; PFCs 가스를 공급하는 PFCs 가스 공급부와; 수소 가스를 공급하는 수소 가스 공급부와; 상기 질소 가스, PFCs 가스, 수소 가스를 혼합하는 가스 챔버와; 상기 가스 챔버에서 혼합된 가스에 포함된 PFCs 가스를 분해 반응시키는 반응기와; 상기 PFCs 가스의 분해 반응을 위해, 상기 반응기에 전자빔을 조사하는 전자빔 발생부를 포함할 수 있다.
Int. CL B01D 53/32 (2006.01) B01D 53/68 (2006.01) B01D 53/30 (2006.01) C01B 7/19 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020120104789 (2012.09.20)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-1444780-0000 (2014.09.19)
공개번호/일자 10-2014-0038264 (2014.03.28) 문서열기
공고번호/일자 (20140926) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.09.20)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 류재용 대한민국 경기도 고양시 일산서구
2 최창용 대한민국 경상북도 경주시
3 김종범 대한민국 부산광역시 사하구
4 정인하 대한민국 대전광역시 유성구
5 이면주 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박장원 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, *층~*층 (논현동, 비너스빌딩)(박장원특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.09.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-0765592-90
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.04.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.05.09 수리 (Accepted) 9-1-2013-0036345-18
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2014.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0055957-68
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.03.21 수리 (Accepted) 1-1-2014-0274943-19
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2014.04.22 수리 (Accepted) 1-1-2014-0383653-07
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2014-0468603-40
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.05.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0468609-13
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
10 등록결정서
Decision to grant
2014.09.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0630238-36
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
질소 가스를 공급하는 질소 가스 공급부와; 반도체 에칭 공정 또는 화학 증착 공정 중에 발생하는 과불소화 화합물(Perfluorinated compounds, PFCs) 가스를 공급하는 PFCs 가스 공급부와; 수소 가스를 공급하는 수소 가스 공급부와; 상기 질소 가스, PFCs 가스, 수소 가스만을 상온에서 혼합하는 가스 챔버와;상기 혼합된 가스에 전자빔을 조사하는 전자빔 발생부와;상기 조사된 전자빔을 이용하여 상기 혼합된 가스에 포함된 PFCs 가스로부터 불소를 분해하고, 상기 혼합된 가스에 포함된 수소 가스를 이용하여 상기 분해된 불소를 불화수소로 유도함으로써, 상기 분해된 불소가 상기 PFCs 가스로 재결합되는 것을 방지하는 반응기를 포함하며,상기 질소 가스, PFCs 가스, 수소 가스의 합이 100%일 때, 상기 PFCs 가스 및 수소 가스는 각각 0
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서, 상기 수소 가스 공급부는,PFCs 가스 처리 효율을 급격히 상승시키기 위해 상기 수소 가스를 상기 가스 챔버에 공급하는 것을 특징으로 하는 과불소화 화합물 가스 처리 장치
4 4
제1항에 있어서,상기 반응기에 연결되고, 상기 반응기 내의 혼합 가스를 분석 하기 위한 분석기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 과불소화 화합물 가스 처리 장치
5 5
삭제
6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 환경부 한국원자력연구원 에코이노베이션 환경기술개발사업 전자빔 기술을 이용한 반도체 공정의 독성, 가스 처리 기술 개발
2 환경부 한국원자력연구원 에코이노베이션 환경기술개발사업 고이온화 에너지를 이용한 에칭공정 SF6 제어 기술 개발