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대상체에 존재하는 균열을 일정 주기로 팽창 또는 수축시키도록 상기 대상체를 가열하는 가열부;상기 대상체의 일면과 배면 각각에 서로 다른 방향에서 빔을 조사하도록 형성되는 빔 조사부;상기 일면에 조사되는 서로 다른 방향의 빔들로부터 상기 일면의 표면 간섭영상을 수집하고, 상기 배면에 조사되는 서로 다른 방향의 빔들로부터 상기 배면의 표면 간섭영상을 수집하며, 상기 일면의 표면 간섭영상 및 배면의 표면 간섭영상으로부터 대상체의 두께 방향 간섭영상을 수집하여 상기 대상체의 결합정보를 추출하는 정보수집부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 비파괴 검사장치
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제1항에 있어서,상기 빔 조사부는,빔을 조사하는 빔 발생장치; 및 상기 빔이 서로 다른 적어도 두 개의 경로로 진행하도록 상기 빔의 진행경로에 형성되는 빔 분할기를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 비파괴 검사장치
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제2항에 있어서,상기 빔 조사부는,적어도 하나의 경로에 형성되어 상기 경로를 거치는 빔의 위상을 변화시키는 위상변환장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 비파괴 검사장치
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제1항에 있어서,상기 가열부는,상기 대상체를 가열하는 연속발진레이저장치; 및상기 연속발진레이저장치에서 발생된 레이저의 진행경로에 배치되고, 시간에 따라 정현파 형태의 강도로 레이저를 투과시킬 수 있도록 제어되는 필터를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 비파괴 검사장치
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제1항에 있어서,상기 가열부는,하나의 정현파 형태의 강도 또는 적어도 2이상의 정현파를 중첩시킨 형태의 강도로 상기 대상체를 가열할 수 있는 열원장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 비파괴 검사장치
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제1항에 있어서,상기 정보수집부는,상기 대상체의 일면에 생성된 수평방향 간섭영상과 수직방향 간섭영상을 실시간으로 획득한 후 저장하고, 상기 수평방향 간섭영상으로부터 시간별 수평방향 위상맵 영상을 구하고 상기 수직방향 간섭영상으로부터 시간별 수직방향 위상맵 영상을 구하는 신호처리모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 비파괴 검사장치
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가열부가 대상체를 일정 주기의 강도로 가열하는 단계;빔 조사부가 상기 대상체의 앞면 및 뒷면에 레이저를 조사하여 각각의 면에 대한 간섭영상을 생성시키는 단계;정보수집부가 상기 앞면의 간섭영상으로부터 상기 앞면의 시간별 위상맵 영상을 구하는 단계;정보수집부가 상기 뒷면의 간섭영상으로부터 상기 뒷면의 시간별 위상맵 영상을 구하는 단계;상기 정보수집부가 상기 앞면의 위상맵 영상으로부터 특정주파수에서의 진폭값과 위상값을 추출하여 상기 앞면의 변위영상과 위상영상을 생성하는 단계;상기 정보수집부가 상기 뒷면의 위상맵 영상으로부터 특정주파수에서의 진폭값과 위상값을 추출하여 상기 뒷면의 변위영상과 위상영상을 생성하는 단계;상기 정보수집부가 상기 앞면의 변위영상과 상기 뒷면의 변위영상의 차이를 이용하여 대상체 앞뒷면의 상대적인 변위영상 정보를 획득하는 단계; 및상기 정보수집부가 상기 앞면의 위상영상과 상기 뒷면의 위상영상의 차이를 이용하여 대상체 앞뒷면의 상대적인 위상영상 정보를 획득하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 비파괴 검사방법
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제12항에 있어서, 상기 가열부는 정현파 형태의 강도로 상기 대상체를 가열하고,상기 특정주파수는,상기 가열부가 상기 대상체를 가열하는 가열주기에 대응하는 주파수 및 상기 주파수의 정수배 주파수를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 비파괴 검사방법
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제12항에 있어서, 상기 가열부는 2이상의 정현파를 중첩시킨 형태의 강도로 상기 대상체를 가열하고,상기 특정주파수는,상기 각각의 정현파의 주기에 대응하는 주파수, 상기 주파수의 합 또는 차에 해당하는 주파수 및 상기 주파수의 정수배 주파수를 포함하는 것을 특징으로 하는 비접촉식 비파괴 검사방법
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