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멀티 슬릿을 이용한 이종 이온빔 조사장치 및 조사방법

  • 기술번호 : KST2015148506
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 멀티 슬릿을 이용한 이종 이온빔 조사장치 및 조사방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 질량분리 전자석의 후단에 자기장에 의해 서로 다른 궤도반경을 가지며 휘어지는 이종의 이온빔을 통과시킬 수 있는 멀티 슬릿을 설치함으로써, 이종의 이온빔을 타겟 시료 표면에 동시 조사할 수 있도록 구성된 멀티 슬릿을 이용한 이종 이온빔 조사장치 및 조사방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 멀티 슬릿을 이용한 이종 이온빔 조사장치는 이온빔을 생성하는 이온원과; 상기 이온원의 일측에 연결되어 상기 이온원에서 인출된 이온빔을 각각의 이온 종류에 따라 서로 다른 궤도반경을 갖는 다수 개의 이온빔으로 분리하는 질량분리 전자석과; 상기 질량분리 전자석 후단에 구비되되, 상기 다수 개의 이온빔 중 미리 결정된 특정 종류의 이온빔들만을 선별적으로 통과시킬 수 있도록 다수 개의 개구부가 형성된 멀티 슬릿과; 상기 멀티 슬릿을 통과한 이온빔들을 가속하는 가속관; 및 상기 가속관을 통해 가속된 이온빔들이 조사되는 타겟 시료를 장착하기 위한 시료 지지대;를 포함하여 구성되되, 상기 시료 지지대는, 상기 시료 지지대에 장착된 상기 타겟 시료를 회전시킬 수 있도록 구성되어, 상기 이온빔들의 조사 과정에서 상기 타겟 시료를 회전시키면서 이온빔을 조사함으로써, 타겟 시료에 이종(異種)의 이온빔이 균일하게 조사될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 한다. 이종 이온빔, 멀티 슬릿, 동시 조사, 조사장치, 조사방법
Int. CL H01J 37/08 (2006.01) H01J 37/147 (2006.01)
CPC H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01) H01J 37/3171(2013.01)
출원번호/일자 1020080127898 (2008.12.16)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-1024223-0000 (2011.03.16)
공개번호/일자 10-2010-0069257 (2010.06.24) 문서열기
공고번호/일자 (20110329) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2008.12.16)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 홍인석 대한민국 대전광역시 중구
2 이화련 대한민국 서울시 노원구
3 조용섭 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 신운철 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***길 *(삼성동) 우경빌딩*층(가디언국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2008.12.16 수리 (Accepted) 1-1-2008-0864213-28
2 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)
2009.07.16 수리 (Accepted) 1-1-2009-0431940-04
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.02.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.03.19 수리 (Accepted) 9-1-2010-0018381-26
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2010.07.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0298025-70
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2010.09.02 수리 (Accepted) 1-1-2010-0571561-66
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2010.09.02 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2010-0571562-12
8 등록결정서
Decision to grant
2010.12.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2010-0598257-14
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2012-5134067-95
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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이종(異種)의 이온빔을 타겟 시료에 조사하기 위한 이종 이온빔 조사장치에 있어서, 이온빔을 생성하는 이온원과; 상기 이온원의 일측에 연결되어 상기 이온원에서 인출된 이온빔을 각각의 이온 종류에 따라 서로 다른 궤도반경을 갖는 다수 개의 이온빔으로 분리하는 질량분리 전자석과; 상기 질량분리 전자석 후단에 구비되되, 상기 다수 개의 이온빔 중 미리 결정된 특정 종류의 이온빔들만을 선별적으로 통과시킬 수 있도록 다수 개의 개구부가 형성된 멀티 슬릿과; 상기 멀티 슬릿을 통과한 이온빔들을 가속하는 가속관; 및 상기 가속관을 통해 가속된 이온빔들이 조사되는 타겟 시료를 장착하기 위한 시료 지지대; 를 포함하여 구성되되, 상기 시료 지지대는, 상기 시료 지지대에 장착된 상기 타겟 시료를 회전시킬 수 있도록 구성되어, 상기 이온빔들의 조사 과정에서 상기 타겟 시료를 회전시키면서 이온빔을 조사함으로써, 타겟 시료에 이종(異種)의 이온빔이 균일하게 조사될 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 이종 이온빔 조사 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 멀티 슬릿에 형성된 다수 개의 개구부는, 통과 대상이 되는 이온빔의 종류에 따라 위치 및 간격을 조절할 수 있도록 구성되는 것을 특징으로 하는 이종 이온빔 조사 장치
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삭제
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이종(異種)의 이온빔을 타겟 시료에 조사하는 방법에 있어서, 이온원에서 다종의 이온이 포함된 이온빔을 인출하는 단계와; 상기 이온원에서 인출된 이온빔을 질량분리 전자석을 통해 각각의 이온 종류에 따라 서로 다른 궤도반경을 갖는 다수 개의 이온빔으로 분리하는 단계와; 상기 질량분리 전자석에서 분리된 다수 개의 이온빔을 다수 개의 개구부가 형성된 멀티 슬릿을 통해 미리 결정된 특정 종류의 이온빔들만을 선별적으로 통과시키는 단계와; 상기 멀티 슬릿을 통과한 이온빔들을 가속관을 통해 가속하는 단계; 및 상기 가속관을 통해 가속된 이온빔들을 타겟 시료에 조사하는 단계; 를 포함하여 구성되되, 상기 가속된 이온빔들을 타겟 시료에 조사하는 단계에서는, 상기 타겟 시료를 회전시키면서 이온빔을 조사함으로써, 타겟 시료에 이종(異種)의 이온빔이 균일하게 조사되도록 수행되는 것을 특징으로 하는 이종 이온빔 조사 방법
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