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극미세 진공박막장비의 판막제어 기구

  • 기술번호 : KST2015148623
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 극미세 진공박막장비의 판막제어 기구에 관한 것으로서 보다 상세하게는 기압차로부터 발생하는 힘을 직접받는 주판막과 기체통과량을 조절 및 제어하는 보조판막을 설치하여 장치에 무리를 주지 아니하고 용이하게 작동 가능하도록 한 극미세 진공박막장비의 판막제어 기구에 관한 것인 바, 본 발명은 기압차에 의한 주판막과 기체통과량을 조절 제어하는 보조판막으로 역할 분담시켜 장치에 무리가 없도록 함으로 인해 구동부위의 내구성 향상을 통해 높은 청정도와 진공도 유지를 가능하게 하고, 주판막과 보조판막 모두 미닫이 방식을 채택하여 진공조 및 푸개와 직접 결합함에 소요높이를 최소화하여 소모공간을 줄이고 효율성을 높이며, 부가적으로 밀폐형 고리의 변형을 방지하여 진공이 새는 것을 방지할 수 있도록 고안된 기구 장치다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01)
CPC H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01) H01L 21/67017(2013.01)
출원번호/일자 1020020080690 (2002.12.17)
출원인 한국생산기술연구원, 김재홍
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2004-0054064 (2004.06.25) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2002.12.17)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
2 김재홍 대한민국 경기 양주시 고덕로 ***, *

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 리의재 대한민국 서울특별시서초구
2 김재홍 대한민국 경기도 의정부시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 노완구 대한민국 서울특별시 서초구 서초중앙로**길 **-*, *층 (서초동, 썬라이즈빌딩)(미로텍특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2002.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2002-0418433-54
2 전자문서첨부서류제출서
Submission of Attachment to Electronic Document		 2002.12.18 수리 (Accepted) 1-1-2002-5297593-28
3 보정통지서
Request for Amendment		 2003.01.09 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2003-0002360-57
4 서지사항보정서
Amendment to Bibliographic items		 2003.02.10 수리 (Accepted) 1-1-2003-5025634-91
5 출원인지분변경신고서
Report on Change of Share of Applicant		 2003.03.17 수리 (Accepted) 1-1-2003-5051133-83
6 보정통지서
Request for Amendment		 2003.03.27 발송취소 (Cancellation of dispatch) 1-5-2003-0020840-83
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2004-5053909-24
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2004.09.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2004.10.18 수리 (Accepted) 9-1-2004-0062100-94
10 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2004.12.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2004-0518236-05
11 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2005.02.03 수리 (Accepted) 1-1-2005-0064321-05
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2005.03.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0120379-81
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.05.22 수리 (Accepted) 4-1-2009-0009728-35
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
19 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
20 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
21 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
22 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
23 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1

본체의 일측부에는 수직으로 관통 형성된 통로를 구비하고 타측으로는 구동전동기와 이 구동전동기에 연결되어 회전력을 전달하는 회전축이 고정 설치되며 상기 회전축 끝단에는 링크 연결되어 굴대(roller) 구동에 의해 본체의 안내(guide)홈을 따라 수평으로 직선운동하는 주판막이 설치되어 이루어진 극미세 진공박막장비의 판막제어 기구에 있어서,

상기 본체의 내측에 설치된 주판막의 하방으로 보조판막장치가 설치된 것을 특징으로 하는 극미세 진공박막장비의 판막제어 기구
2 2

제 1 항에 있어서, 상기 보조박막장치는 회전력을 발생시키는 단계식전동기(stepping motor)와;

상기 단계식전동기의 축에 띠도르레(belt pulley)로 연결된 도르레(pulley)와;

상기 안내홈의 하단으로 평행하게 제2안내홈을 형성하고 외측 하방으로는 팔걸이(bracket)이 구비되고 이 팔걸이의 사이에는 축공이 형성되어 이루어진 본체와;

상기 팔걸이에 고정되게 설치된 안내봉과;

상기 안내봉과 소정 간격만큼 떨어지게 설치되어 일측단에 도르레가 축설되며 외주면에 벌레톱니(worm)가 형성된 바퀴축과;

상기 바퀴축이 관통하는 내주면에는 벌레톱니를 형성한 보조몸통의 일측으로는 안내봉이 관통하는 통공을 구비하며, 통공의 반대편으로는 걸대(rack)를 형성한 동력전달부재와;

상기 동력전달부재의 걸대와 치합되는 벌레톱니를 외주면에 형성하면서 중앙부에 축공을 형성한 벌레톱니장치(worm gear)와;

상기 벌레톱니장치의 축공에 설치되어 회전력을 전달하는 회전축과;

상기 수직으로 설치된 회전축의 처짐을 방지하는 축받이(bearing)와;

상기 회전축이 일측에 회전가능하게 설치되며 타측으로는 굴대(roller)가 설치된 접속(link) 부재와;

상기 접속부재의 굴대가 끼워지면서 수평이동이 가능하게 형성된 장공을 형성한 결합부재와;

상기 결합부재와 결합되어 회전축의 회전운동방향에 맞춰 제2 안내홈을 따라 이동하되 그 이동이 용이하도록 제2 안내홈에 일부가 삽입설치된 이송굴대가 설치된 판형의 보조판막을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 극미세 진공박막장비의 판막제어 기구

3 3

제 2 항에 있어서, 상기 접속부재의 소정부위에는 진공도를 감지하는 감지기가 설치되어 있으며, 감지기에서 감지된 측정값에 의해 단계식전동기가 작동되도록 하여 미세조절이 가능하게 된 것을 특징으로 하는 극미세 진공박막장비의 판막제어 기구

지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.