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함불소 화합물 처리방법

  • 기술번호 : KST2015148644
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 제조공정상의 에칭, 화학증착(CVD) 및 장비 세정용으로 쓰이는 가스인 함불소 화합물을 함유하고 있는 배출가스의 함불소 화합물 처리방법에 관한 것이다. 본 발명은 산소부화 장치를 통해 외부의 공기를 흡입하여 산소의 농도를 높여 배출하는 산소부화 단계와; 상기 가스연료 공급원에 의해 가스 연료가 공급되는 단계와; 예혼합 장치를 사용하여 연료-공기와 연료-함불소 화합물 을 각각 별도의 예혼합실에서 예혼합하는 단계와; 예혼합된 연료-공기 혼합 기체와 연료-함불소 화합물을 각각 주입구들을 통해 연소실 내로 주입하는 단계와; 연소실 내에서 함불소 화합물을 고온의 화염으로 분해하는 단계와; 함불소 화합물을 분해에 따라 생성된 질소 산화물(NOx)을 촉매를 통해 환원시켜 질소 산화물의 배출 농도를 최소화하여 배기가스를 배출하는 단계와; 배기가스를 배기가스에서 냉각하고 배기가스 내의 유해 성분을 습식으로 처리하는 단계와; 전자제어장치에 의해 산소부화 장치로부터 나오는 공기 및 가스연료 공급원으로부터 나오는 연료의 조절과 연소실 내 화염 온도의 감시 및 제어를 수행하는 단계를 포함한다. 상기 방법에 따르면 본 발명은 화염의 온도를 최소 1300 ℃ 이상으로 상승시켜 효율적인 고온 화염을 유도하여 함불소 화합물 가스의 분해율을 극대화할 수 있고, 다량의 질소 산화물(NOx)을 환원시켜 질소 산화물의 배출 농도를 최소화할 수 있는 효과가 있다. 연소기, 함불소 화합물, 산소 부화, 예혼합, 배기 처리
Int. CL F23G 7/06 (2006.01)
CPC F23G 7/065(2013.01) F23G 7/065(2013.01) F23G 7/065(2013.01) F23G 7/065(2013.01) F23G 7/065(2013.01) F23G 7/065(2013.01)
출원번호/일자 1020030075257 (2003.10.27)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2005-0040085 (2005.05.03) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2003.10.27)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김세원 대한민국 서울특별시송파구
2 신명철 대한민국 충청남도천안시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 손민 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, *층(문정동)(특허법인한얼)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2003.10.27 수리 (Accepted) 1-1-2003-0402382-39
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2004.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2004-5053909-24
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2005.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0250292-78
4 지정기간연장신청서
Request for Extension of Designated Period		 2005.07.28 수리 (Accepted) 1-1-2005-0414585-06
5 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2005.09.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0476185-24
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
외부의 공기를 흡입하여 산소의 농도를 높여 배출할 수 있는 산소부화 장치(20)와; 가스 연료를 공급할 수 있는 가스연료 공급원(40)과; 상기 가스연료 공급원(40)으로부터 공급되는 연료와 상기 산소부화 장치(20)로부터 배출되는 높은 농도의 산소를 함유하는 부화 공기를 혼합할 수 있는 연료-공기 예혼합실과, 상기 가스연료 공급원(40)으로부터 공급되는 연료와 함불소 화합물이 함유되어 배출되는 가스를 혼합할 수 있는 연료-함불소 화합물 예혼합실을 포함하는 예혼합 장치(30)와; 외관(56)의 외측면의 상부에 상기 연료-공기 예혼합실로부터 배출되는 연료-공기 혼합 기체가 주입될 수 있고 상기 외관(56)의 외측면에 대해 경사진 적어도 하나 이상의 가스연료-공기 주입구(52)를 형성하고, 외관(56)의 상면에 상기 연료-함불소 화합물 예혼합실로부터 배출되는 연료-함불소 화합물이 주입될 수 있는 적어도 하나 이상의 연료-함불소 화합물 주입구(51)를 형성한 외관(56)과, 내벽(57')에 설치된 하나 이상의 버너(55)를 가지며 내부의 상부에 촉매(54)를 설치하고 내부에 하니콤 형상의 물질(53)을 설치한 내관(57)을 포함하는 연소실(50)과; 상기 연소실(50)로부터 나오는 배기가스를 냉각시킨 후 유해 성분을 물에 용해시켜 처리할 수 있는 배기처리 장치(60)와; 상기 산소부화 장치(20)로부터 나오는 공기 및 가스연료 공급원(40)으로부터 나오는 연료의 조절과 상기 연소실(50) 내 화염 온도의 감시 및 제어를 수행할 수 있는 전자제어장치(70)를 포함하는 함불소 화합물 처리 시스템에 의하여, 상기 산소부화 장치(20)를 통해 외부의 공기를 흡입하여 산소의 농도를 높여 배출하는 산소부화 단계와; 상기 가스연료 공급원(40)에 의해 가스 연료가 공급되는 단계와; 상기 예혼합 장치(30)를 사용하여 연료-공기와 연료-함불소 화합물 을 각각 별도의 예혼합실에서 예혼합하는 단계와; 상기 예혼합된 연료-공기 혼합 기체와 연료-함불소 화합물을 각각 상기 주입구들(52, 51)을 통해 연소실 내로 주입하는 단계와; 연소실 내에서 상기 함불소 화합물을 고온의 화염으로 분해하는 단계와; 상기 함불소 화합물을 분해에 따라 생성된 질소 산화물(NOx)을 촉매(54)를 통해 환원시켜 질소 산화물의 배출 농도를 최소화하여 배기가스를 배출하는 단계와; 상기 배기가스를 배기가스에서 냉각하고 배기가스 내의 유해 성분을 습식으로 처리하는 단계와; 상기 전자제어장치(70)에 의해 상기 산소부화 장치(20)로부터 나오는 공기 및 가스연료 공급원(40)으로부터 나오는 연료의 조절과 상기 연소실(50) 내 화염 온도의 감시 및 제어를 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 함불소 화합물 처리방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 예혼합 장치(30)의 연료-함불소 화합물 예혼합실로 함불소 화합물 함유 가스를 보내기 전에 필터(10)를 더 설치하여 함불소 화합물이 함유된 배출 가스의 이물질을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 함불소 화합물 처리방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 예혼합 장치(30)를 사용하여 연료-공기와 연료-함불소 화합물을 별도의 예혼합실에서 예혼합하는 단계는, 상기 가스연료 공급원(40)으로부터 공급되는 연료와 상기 산소부화 장치(20)로부터 배출되는 높은 농도의 산소를 함유하는 부화 공기를 상기 연료-공기 예혼합실에서 혼합하고, 상기 가스연료 공급원(40)으로부터 공급되는 연료와 상기 필터(10)를 거쳐 배출되는 함불소 화합물을 상기 연료-함불소 화합물 예혼합실에서 예혼합하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 함불소 화합물 처리방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 배기가스 내의 유해 성분을 습식으로 처리하는 단계는 배기가스 내의 유해 성분을 물에 용해시켜 처리하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 함불소 화합물 처리방법
5 5
제1항에 있어서, 연소실 내에서 상기 함불소 화합물을 고온의 화염으로 분해하는 단계는 적어도 1,300 ℃ 이상의 고온의 화염으로 함불소 화합물을 분해하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 함불소 화합물 처리방법
6 5
제1항에 있어서, 연소실 내에서 상기 함불소 화합물을 고온의 화염으로 분해하는 단계는 적어도 1,300 ℃ 이상의 고온의 화염으로 함불소 화합물을 분해하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 함불소 화합물 처리방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.