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빛이 통과하지 못하는 형성된 차단영역의 형태가 원형인 제1 마스크를 포토 레지스트가 코팅된 기판 상에 정렬시켜 노광하는 제1 단계; 상기 노광된 기판을 현상하여 원기둥 형태를 가진 포토 레지스트를 얻는 제2 단계; 상기 현상된 기판에 대해 리플로우 공정을 수행하여 상기 포토 레지스트를 구면 렌즈 형태로 만드는 제3 단계; 상기 구면 렌즈 형태가 음각된 제1 스탬퍼를 제작하는 제4 단계; 상기 제1 스탬퍼를 금형으로 이용하여 상기 구면 렌즈 형태가 양각된 투명 플라스틱 재질의 제2 스탬퍼를 제작하는 제5 단계; 상기 제2 스탬퍼 상에 그레이팅용 물질을 코팅하고 그 위에 포토 레지스터를 코팅하는 제6 단계; 상기 제1 마스크에 형성된 상기 차단영역의 크기보다 작은 차단 영역을 가지며 상기 차단 영역이 그레이팅 형태를 가지는 제2 마스크를 포토 레지스트가 코팅된 제2 스탬퍼 상에 정렬시켜 노광하는 제7 단계; 상기 노광으로 상기 제2 스탬퍼의 구면 렌즈 상에 형성된 포토 레지스트를 현상하고 상기 박막을 에칭처리하여 상기 구면 렌즈 상에 그레이팅 형상을 만드는 제8 단계를 포함하는 그레이팅이 형성된 마이크로 렌즈 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 제1 마스크는 필름 마스크 또는 크롬 마스크인 것을 특징으로 하는 그레이팅이 형성된 마이크로 렌즈 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 제2 마스크는 크롬 마스크인 것을 특징으로 하는 그레이팅이 형성된 마이크로 렌즈 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 그레이팅용 재료는 금속인 것을 특징으로 하는 그레이팅이 형성된 마이크로 렌즈 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 그레이팅용 재료는 산화물인 것을 특징으로 하는 그레이팅이 형성된 마이크로 렌즈 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 그레이팅용 형태는 요철 형태인 것을 특징으로 하는 그레이팅이 형성된 마이크로 렌즈 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 제4 단계는 금속 박막을 코팅하는 단계와, 상기 금속 박막 상에 니켈 전기 도금을 수행하고 상기 니켈 전기 도금한 부분만을 떼어내는 단계 및, 상기 니켈 전기 도금한 부분을 상기 스탬퍼로 하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 그레이팅이 형성된 마이크로 렌즈 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 금속 박막 코팅은 크롬 코팅인 것을 특징으로 하는 그레이팅이 형성된 마이크로 렌즈 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 금속 박막 코팅은 상기 크롬을 코팅한 후 금을 추가로 코팅하는 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 그레이팅이 형성된 마이크로 렌즈 제조 방법
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제8항에 있어서, 상기 금속 박막 코팅은 상기 크롬을 코팅한 후 금을 추가로 코팅하는 것으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 그레이팅이 형성된 마이크로 렌즈 제조 방법
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