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초음파 스프레이를 이용한 전극 도포 시스템

  • 기술번호 : KST2015148681
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 전극 도포 시스템은 금속 페이스트 및 용매를 혼합 및 교반하여 금속 페이스트 희석액을 생성하기 위한 혼합 유닛, 상기 혼합 유닛에 금속 페이스트를 공급하기 위한 금속 페이스트 공급부재, 상기 금속 페이스트 공급부재와 이격되어 배치되고 상기 혼합 유닛에 용매를 공급하기 위한 용매 공급부재, 상기 혼합 유닛과 연결되어 있고, 상기 금속 페이스트 희석액을 상기 혼합 유닛으로부터 공급 받아 상기 금속 페이스트 희석액을 무화(霧化)시키고 무화된 금속 페이스트 희석액을 대상 기판 상에 분사하기 위한 초음파 분무 유닛, 상기 초음파 분무 유닛에 초음파를 제공하기 위한 초음파 발생 부재 및 상기 초음파 분무 유닛의 외부에 배치되고 상기 초음파 분무 유닛에 불활성 가스를 공급하기 위한 불활성 가스 공급 부재를 포함한다. 전극,금속분말,도포,초음파
Int. CL H01L 21/28 (2006.01)
CPC H01L 21/6715(2013.01) H01L 21/6715(2013.01) H01L 21/6715(2013.01) H01L 21/6715(2013.01)
출원번호/일자 1020040089548 (2004.11.05)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0617476-0000 (2006.08.22)
공개번호/일자 10-2006-0040266 (2006.05.10) 문서열기
공고번호/일자 (20060904) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.11.05)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이성일 대한민국 서울 용산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 천성진 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)(특허법인 무한)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 주식회사 아이멧 광주광역시 광산구
2 주식회사 예리코코리아 경기도 광주시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2004.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2004-0511745-78
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.01.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.02.20 수리 (Accepted) 9-1-2006-0013024-53
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0104231-03
5 대리인선임신고서
Notification of assignment of agent
2006.04.07 수리 (Accepted) 1-1-2006-0243451-65
6 의견서
Written Opinion
2006.04.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0277026-15
7 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.04.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0277025-69
8 등록결정서
Decision to grant
2006.06.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0335400-74
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
18 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
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번호 청구항
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금속 페이스트 및 용매를 혼합 및 교반하여 금속 페이스트 희석액을 생성하기 위한 혼합 유닛;상기 혼합 유닛에 금속 페이스트를 공급하기 위한 금속 페이스트 공급부재;상기 금속 페이스트 공급부재와 이격되어 배치되고 상기 혼합 유닛에 용매를 공급하기 위한 용매 공급 부재; 상기 혼합 유닛과 연결되어 있고, 상기 금속 페이스트 희석액을 상기 혼합 유닛으로부터 공급 받아 상기 금속 페이스트 희석액을 무화(霧化)시키고 무화된 금속 페이스트 희석액을 대상 기판 상에 분사하기 위한 초음파 분무 유닛; 상기 초음파 분무 유닛에 초음파를 제공하기 위한 초음파 발생 부재; 및 상기 초음파 분무 유닛의 외부에 배치되고 상기 초음파 분무 유닛에 불활성 가스를 공급하기 위한 가스 공급 부재를 포함하는 전극 도포 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 초음파 분무 유닛은, 상기 혼합 유닛으로부터 유입된 상기 금속 페이스트 희석액을 이동시키고 상기 무화된 금속 페이스트가 분사되도록 가이드하는 이송관;상기 이송관의 주변부에 위치하고 상기 금속 페이스트에 초음파를 전달하여 상기 금속 페이스트 희석액을 무화시키기 위한 초음파 노즐; 및 상기 초음파 분무 유닛의 하부에 위치한 공기흐름 제어 덮개를 포함하는 것을 특징으로 하는 전극 도포 시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.