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초음파 증폭기를 이용한 세정장치

  • 기술번호 : KST2015148687
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초음파 증폭기를 이용한 세정장치에 관한 것으로서, 특히 베이스의 상부 스테이지상에 연질로 이루어진 다수의 지지봉을 설치하여 소재를 올려놓을 수 있도록 하고, 상부스테이지의 직상방에 높이 및 좌우 이동이 가능하도록 세정수단을 설치하되, 상기 세정수단은 초음파 진동자에서 발생된 초음파를 증폭하여 소재에 공급하여 소재 표면에 존재하는 불순물이 활성화되어 분리되도록 하는 증폭혼이 중앙에 형성되고, 그 일측에는 불순물을 불어주기 위한 가스분사노즐을 형성하며, 타측에는 불순물을 흡입 제거하기 위한 불순물 흡입노즐을 형성하므로서, 반도체 제조공정 또는 LCD 패널 제조공정 중에 기판(웨이퍼 또는 glass) 표면에 붙어있는 불순물을 효율적으로 제거하여 세정 처리할 수 있도록 한 초음파 증폭기를 이용한 세정장치에 관한 것이다. 초음파, 웨이퍼, 기판, 증폭혼, 가스분사노즐, 불순물 흡입노즐, 세정장치, 반도체, LCD,
Int. CL H01L 21/304 (2006.01)
CPC H01L 21/67028(2013.01) H01L 21/67028(2013.01) H01L 21/67028(2013.01) H01L 21/67028(2013.01)
출원번호/일자 1020050009437 (2005.02.02)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-0632717-0000 (2006.09.29)
공개번호/일자 10-2006-0088938 (2006.08.07) 문서열기
공고번호/일자 (20061012) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2005.02.02)
심사청구항수 8

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이강원 대한민국 충남 천안시
2 김철호 대한민국 경기 용인시
3 이석태 대한민국 경기 평택시 비

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 정병호 대한민국 경기도 성남시 수정구 성남대로 ****(수진동, 신진빌딩) ***호(한마음국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2005.02.02 수리 (Accepted) 1-1-2005-0062552-98
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2006.03.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2006.04.14 수리 (Accepted) 9-1-2006-0025448-23
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2006.06.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0341345-46
5 의견서
Written Opinion
2006.08.08 수리 (Accepted) 1-1-2006-0565378-93
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.
2006.08.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0565415-95
7 등록결정서
Decision to grant
2006.09.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0523588-47
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2007.02.09 수리 (Accepted) 4-1-2007-5022520-66
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.10.20 수리 (Accepted) 4-1-2008-5164358-96
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2008.11.11 수리 (Accepted) 4-1-2008-5178457-80
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2009.01.20 수리 (Accepted) 4-1-2009-5013686-94
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2010.08.30 수리 (Accepted) 4-1-2010-5161401-06
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5068733-13
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.04.26 수리 (Accepted) 4-1-2012-5090658-47
15 출원인정보변경(경정)신고서
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2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
베이스(1)의 상부 스테이지(2)에 수직 설치되어 소재(10)를 올려놓을 수 있도록 하는 다수의 지지봉(3)과; 상기 상부 스테이지(2)의 직상방에 높이 조절 및 좌우 이동이 가능하면서 초음파를 이용하여 소재(10)에 붙어있는 불순물을 분리 제거하는 세정수단; 을 형성한 것을 특징으로 하는 초음파 증폭기를 이용한 세정장치
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 세정수단은, 케이스(8)의 중앙 상단에 설치되고, 초음파제너레이터(11)에서 생성되어 공급된 초음파에의해 진동하여 초음파를 발생시키는 초음파 진동자(12)와, 상기 초음파 진동자(12)의 직하방에 설치되고, 초음파 진동자(12)에서 공급된 초음파를 증폭시켜 소재(10)의 표면에 공급하는 증폭혼(13)과, 상기 증폭혼(13)의 일측에 일정각도 경사지게 설치되고, 가스공급부(14)로부터 공급된 가스를 소재(10) 표면으로 고압 분사하는 가스분사노즐(15)과, 상기 증폭혼(13)의 타측에 불순물 흡입탱크(17)와 연결된 상태로 일정각도 경사지게 설치되고, 가스분사노즐(15)에 의해 분리 이송된 불순물을 흡입하여 제거하는 불순물 흡입노즐(16), 로 구성한 것을 특징으로 하는 초음파 증폭기를 이용한 세정장치
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 베이스(1)의 배면에 수평상으로 가이드(4)를 형성하고, 수직봉(6)의 하측에 구비된 결합부(5)를 가이드(4)에 결합하여 수직봉(6)이 가이드(4)를 따라 좌우로 움직일 수 있도록 하며, 상기 세정수단을 이루는 케이스(8)의 일측에 형성된 수직이송판(7)을 수직봉(6)에 결합하고, 수직봉(6)의 상측에는 사용자의 조작에 따라 수직이송판(7)의 높이가 조절되도록 하는 수직이송레버(9)를 형성하여 세정수단의 높이조절 및 좌우 이동이 가능하도록 한 것을 특징으로 하는 초음파 증폭기를 이용한 세정장치
4 4
제 2 항에 있어서, 상기 증폭혼(13)은 금속체를 직사각형 모양을 갖도록 형성하여 한번에 소재(10)의 넓은 면적을 세정할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 초음파 증폭기를 이용한 세정장치
5 5
제 2 항에 있어서, 증폭혼(13)의 하단부에 초음파의 파워 극대화를 위해 단면적이 축소되는 증폭단부(21)를 형성한 것을 특징으로 하는 초음파 증폭기를 이용한 세정장치
6 6
제 5 항에 있어서, 상기 증폭단부(21)는 익스퍼넨셜 타입 또는 계단형으로 형성된 것을 특징으로 하는 초음파 증폭기를 이용한 세정장치
7 7
제 5 항에 있어서, 상기 증폭단부(21)의 하측 끝단부(22)는 초음파의 파워 집중을 위해 반원형으로 형성한 것을 특징으로 하는 초음파 증폭기를 이용한 세정장치
8 8
제 5 항에 있어서, 상기 증폭단부(21)의 하측 끝단부(22)는 초음파의 파워 집중을 위해 톱니형으로 뾰족하게 형성한 것을 특징으로 하는 초음파 증폭기를 이용한 세정장치
9 8
제 5 항에 있어서, 상기 증폭단부(21)의 하측 끝단부(22)는 초음파의 파워 집중을 위해 톱니형으로 뾰족하게 형성한 것을 특징으로 하는 초음파 증폭기를 이용한 세정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.